| 電子情報通信学会 研究会発表申込システム 講演論文 詳細 |
技報閲覧サービス [ログイン] 技報アーカイブ |
| トップに戻る | 前のページに戻る | [Japanese] / [English] |
| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2011-10-31 15:40 逆プロトン交換による縦型漏洩弾性表面波の低損失化 ○阿部真也・垣尾省司（山梨大）  US2011-64 |
|
| 抄録 | （和） | 縦型漏洩弾性表面波(Longitudinal-type Leaky SAW: LLSAW)は，バルク縦波に近い位相速度を有しており，SAWデバイスの高周波化に有利な伝搬モードの一つであるが，伝搬減衰が非常に大きい．本報告では，LLSAWの伝搬減衰を低減させるため，弾性定数が低減した基板とバルクLN層を組み合わせた基板構造を提案する．LLSAWに対して大きな結合係数K2をもつX-36°Y LiNbO3(LN)に提案構造を適用すると，短絡表面のLLSAW伝搬減衰の計算値は，あるバルク層厚においてゼロ減衰を示した．逆プロトン交換(Reverse Proton Exchange: RPE)法を採用し，X-36°Y LN基板上に提案構造を作製した結果，試料上の一部に，レイリー波のK2が未処理基板の約8割まで回復した領域が存在した．この領域では，未処理試料のLLSAW特性と比較すると，自由表面の伝搬損失が約1/3に減少，挿入損失が大幅に低減，共振特性が格段に向上した． |
| （英） | The longitudinal-type leaky surface acoustic wave (LLSAW) is one of the SAW modes that is advantages for application to high-frequency SAW devices because of its high phase velocity close to that of a longitudinal bulk wave. However, the LLSAW has huge inherent attenuation. In this study, to reduce the attenuation of the LLSAW, we proposed a layered structure of air, a bulk LiNbO3 (LN) layer, and an elastically softened LN substrate. When the layered structure was applied to X-36˚Y LN with a large coupling factor K2 for the LLSAW, zero attenuation for the metallized surface was obtained theoretically at a certain depth of the bulk layer. To realize such a layered structure, a reverse proton exchange (RPE) process was applied to X-36˚Y LN, and the propagation and resonance properties of the LLSAW were evaluated. A good region existed on the RPE wafer, in which the value of K2 for the Rayleigh wave was recovered to approximately 80% of that of the virgin wafer. In comparison with the virgin wafer, the propagation loss for the free surface of the good region on the RPE wafer was decreased threefold, the insertion loss was decreased drastically, and the resonance properties were improved markedly. | |
| キーワード | （和） | 縦型漏洩弾性表面波 / 逆プロトン交換 / 伝搬損失 / 共振特性 / / / / |
| （英） | Longitudinal-type leaky SAW / Reverse proton exchange / Propagation loss / Resonance property / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 111, no. 272, US2011-64, pp. 35-39, 2011年10月. | |
| 資料番号 | US2011-64 | |
| 発行日 | 2011-10-24 (US) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | US2011-64 |
|
| 研究会情報 | |
| 研究会 | US |
| 開催期間 | 2011-10-31 - 2011-10-31 |
| 開催地（和） | 山梨大学甲府キャンパス 情報メディア館 5F 多目的ホール |
| 開催地（英） | University of Yamanashi |
| テーマ（和） | 一般 |
| テーマ（英） | General |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | US |
| 会議コード | 2011-10-US |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | 逆プロトン交換による縦型漏洩弾性表面波の低損失化 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Loss Reduction of Longitudinal-Type Leaky SAW by Reverse Proton Exchange |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | 縦型漏洩弾性表面波 / Longitudinal-type leaky SAW |
| キーワード(2)（和/英） | 逆プロトン交換 / Reverse proton exchange |
| キーワード(3)（和/英） | 伝搬損失 / Propagation loss |
| キーワード(4)（和/英） | 共振特性 / Resonance property |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 阿部 真也 / Masaya Abe / アベ マサヤ |
| 第1著者 所属（和/英） | 山梨大学 (略称： 山梨大) University of Yamanashi (略称： Univ. Yamanashi) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 垣尾 省司 / Shoji Kakio / カキオ ショウジ |
| 第2著者 所属（和/英） | 山梨大学 (略称： 山梨大) University of Yamanashi (略称： Univ. Yamanashi) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | / / |
| 第3著者 所属（和/英） | (略称： ) (略称： ) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | / / |
| 第4著者 所属（和/英） | (略称： ) (略称： ) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | / / |
| 第5著者 所属（和/英） | (略称： ) (略称： ) |
| 第6著者 氏名（和/英/ヨミ） | / / |
| 第6著者 所属（和/英） | (略称： ) (略称： ) |
| 第7著者 氏名（和/英/ヨミ） | / / |
| 第7著者 所属（和/英） | (略称： ) (略称： ) |
| 第8著者 氏名（和/英/ヨミ） | / / |
| 第8著者 所属（和/英） | (略称： ) (略称： ) |
| 第9著者 氏名（和/英/ヨミ） | / / |
| 第9著者 所属（和/英） | (略称： ) (略称： ) |
| 第10著者 氏名（和/英/ヨミ） | / / |
| 第10著者 所属（和/英） | (略称： ) (略称： ) |
| 第11著者 氏名（和/英/ヨミ） | / / |
| 第11著者 所属（和/英） | (略称： ) (略称： ) |
| 第12著者 氏名（和/英/ヨミ） | / / |
| 第12著者 所属（和/英） | (略称： ) (略称： ) |
| 第13著者 氏名（和/英/ヨミ） | / / |
| 第13著者 所属（和/英） | (略称： ) (略称： ) |
| 第14著者 氏名（和/英/ヨミ） | / / |
| 第14著者 所属（和/英） | (略称： ) (略称： ) |
| 第15著者 氏名（和/英/ヨミ） | / / |
| 第15著者 所属（和/英） | (略称： ) (略称： ) |
| 第16著者 氏名（和/英/ヨミ） | / / |
| 第16著者 所属（和/英） | (略称： ) (略称： ) |
| 第17著者 氏名（和/英/ヨミ） | / / |
| 第17著者 所属（和/英） | (略称： ) (略称： ) |
| 第18著者 氏名（和/英/ヨミ） | / / |
| 第18著者 所属（和/英） | (略称： ) (略称： ) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2011-10-31 15:40:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | US |
| 資料番号 | US2011-64 |
| 巻番号（vol） | vol.111 |
| 号番号（no） | no.272 |
| ページ範囲 | pp.35-39 |
| ページ数 | 5 |
| 発行日 | 2011-10-24 (US) |
[研究会発表申込システムのトップページに戻る]