| 電子情報通信学会 研究会発表申込システム 講演論文 詳細 |
技報閲覧サービス [ログイン] 技報アーカイブ |
| トップに戻る | 前のページに戻る | [Japanese] / [English] |
| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2011-11-18 13:10 m軸およびa軸オフ角C面サファイア基板上のAlN結晶成長の特徴と高出力AlGaN深紫外LEDの作製 ○前田哲利・平山秀樹・藤川紗千恵（理研）  ED2011-94 CPM2011-143 LQE2011-117 |
|
| 抄録 | （和） | m軸およびa軸オフ角0.15°のc面(0001)サファイア基板上の、MOCVDによるAlN結晶成長の特徴を比較調査した。m軸オフ角サファイア基板上のAlN表面にはマクロステップが生成し、a軸オフ角はマクロステップができないことが分かった。オフ角が小さければa軸オフ角ではマクロステップができないことはすでに知られているが、m軸オフ角のマクロステップについてはあまりよく知られていない。また、このように作製したAlNテンプレート上にMOCVD法を用いて、高効率AlGaN深紫外LEDを作製した。ピーク波長は、a軸オフが270nmとｍ軸オフが277nmであった。また、最高EQEはそれぞれ3.8％と3.2％であった。 |
| （英） | (Not available yet) | |
| キーワード | （和） | 深紫外LED / AlGaN / AlN / MOCVD / マクロステップ / サファイア / / |
| （英） | / / / / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 111, no. 292, LQE2011-117, pp. 107-112, 2011年11月. | |
| 資料番号 | LQE2011-117 | |
| 発行日 | 2011-11-10 (ED, CPM, LQE) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | ED2011-94 CPM2011-143 LQE2011-117 |
|
| 研究会情報 | |
| 研究会 | LQE ED CPM |
| 開催期間 | 2011-11-17 - 2011-11-18 |
| 開催地（和） | 京都大学桂キャンパス 桂ホール |
| 開催地（英） | Katsura Hall，Kyoto Univ. |
| テーマ（和） | 窒化物半導体光・電子デバイス・材料，関連技術，及び一般 |
| テーマ（英） | |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | LQE |
| 会議コード | 2011-11-LQE-ED-CPM |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | m軸およびa軸オフ角C面サファイア基板上のAlN結晶成長の特徴と高出力AlGaN深紫外LEDの作製 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Investigation for chracteristics of AlN growth depending on m- and a-axis oriented off-angle of c-sapphire substrate and fabrication of high-efficiency AlGaN Deep-UV LEDs |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | 深紫外LED / |
| キーワード(2)（和/英） | AlGaN / |
| キーワード(3)（和/英） | AlN / |
| キーワード(4)（和/英） | MOCVD / |
| キーワード(5)（和/英） | マクロステップ / |
| キーワード(6)（和/英） | サファイア / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 前田 哲利 / Noritoshi Maeda / マエダ ノリトシ |
| 第1著者 所属（和/英） | 理化学研究所 (略称： 理研) The Institute of Physical and Chemical Research (略称： RIKEN) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 平山 秀樹 / Hideki Hirayama / ヒラヤマ ヒデキ |
| 第2著者 所属（和/英） | 理化学研究所 (略称： 理研) The Institute of Physical and Chemical Research (略称： RIKEN) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 藤川 紗千恵 / Sachie Fujikawa / フジカワ サチエ |
| 第3著者 所属（和/英） | 理化学研究所 (略称： 理研) The Institute of Physical and Chemical Research (略称： RIKEN) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2011-11-18 13:10:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | LQE |
| 資料番号 | ED2011-94, CPM2011-143, LQE2011-117 |
| 巻番号（vol） | vol.111 |
| 号番号（no） | no.290(ED), no.291(CPM), no.292(LQE) |
| ページ範囲 | pp.107-112 |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2011-11-10 (ED, CPM, LQE) |
[研究会発表申込システムのトップページに戻る]