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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2011-11-18 15:25 ナノインプリント法を用いた段差型有機トランジスタの作製 ○吹山雅浩・山内 博・飯塚正明・酒井正俊・工藤一浩（千葉大）  OME2011-63 OPE2011-138 |
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| 抄録 | （和） | 有機トランジスタを低駆動電圧、大電流で動作させるためには短チャネル化が有効である。そこで我々は、段差構造を利用することで容易にサブミクロン長の短チャネルを実現することができる段差型有機トランジスタ（SVC-OFET）を作製し、その素子特性を調べた。特に本研究では、段差を形成する手段としてナノインプリント法を用いた。ナノインプリント法は微細加工を比較的簡単に行うことができるため、SVC-OFETを簡便に作製することができる。SVC-OFETの有機半導体層には、蒸着法で成膜したペンタセンと塗布法により成膜したTIPS-ペンタセンの二種類を用いており、各素子ともにFET動作を確認することができた。 |
| （英） | The reduction of channel length is one of the effective approaches to achieve the low operation voltage and large current. We have fabricated the step-edge vertical channel organic field-effect transistors (SVC-OFET) using nanoimprint lithography (NIL) and measured their FET characteristics. A short channel with sub-micrometers can be easily achieved by forming the channel on the side wall of the step-edge structure by the simple NIL process. Pentacene and 6,13-bis(triisopropyl-silylethynyl)pentacene (TIPS-pentacene) films used as organic semiconductors were formed by a vacuum evaporation and a drop casting method, respectively. | |
| キーワード | （和） | ナノインプリント法 / 有機トランジスタ / 短チャネル / ペンタセン / TIPS-ペンタセン / / / |
| （英） | Nanoimprint lithography / Organic field-effect transistor / Short channel length / Pentacene / TIPS-pentacene / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 111, no. 302, OME2011-63, pp. 31-36, 2011年11月. | |
| 資料番号 | OME2011-63 | |
| 発行日 | 2011-11-11 (OME, OPE) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | OME2011-63 OPE2011-138 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | OPE OME |
| 開催期間 | 2011-11-18 - 2011-11-18 |
| 開催地（和） | 機械振興会館 |
| 開催地（英） | Kikai-Shinko-Kaikan Bldg. |
| テーマ（和） | 光機能性有機材料・デバイス、光非線形現象、一般 |
| テーマ（英） | |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | OME |
| 会議コード | 2011-11-OPE-OME |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | ナノインプリント法を用いた段差型有機トランジスタの作製 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Fabrication of Step-Edge Vertical Channel Organic Field-Effect Transistors Using Nanoimprint Lithography |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | ナノインプリント法 / Nanoimprint lithography |
| キーワード(2)（和/英） | 有機トランジスタ / Organic field-effect transistor |
| キーワード(3)（和/英） | 短チャネル / Short channel length |
| キーワード(4)（和/英） | ペンタセン / Pentacene |
| キーワード(5)（和/英） | TIPS-ペンタセン / TIPS-pentacene |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 吹山 雅浩 / Masahiro Fukiyama / フキヤマ マサヒロ |
| 第1著者 所属（和/英） | 千葉大学 (略称： 千葉大) Chiba University (略称： Chiba Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 山内 博 / Hiroshi Yamauchi / ヤマウチ ヒロシ |
| 第2著者 所属（和/英） | 千葉大学 (略称： 千葉大) Chiba University (略称： Chiba Univ.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 飯塚 正明 / Masaaki Iizuka / イイヅカ マサアキ |
| 第3著者 所属（和/英） | 千葉大学 (略称： 千葉大) Chiba University (略称： Chiba Univ.) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 酒井 正俊 / Masatoshi Sakai / サカイ マサトシ |
| 第4著者 所属（和/英） | 千葉大学 (略称： 千葉大) Chiba University (略称： Chiba Univ.) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | 工藤 一浩 / Kazuhiro Kudo / クドウ カズヒロ |
| 第5著者 所属（和/英） | 千葉大学 (略称： 千葉大) Chiba University (略称： Chiba Univ.) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2011-11-18 15:25:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | OME |
| 資料番号 | OME2011-63, OPE2011-138 |
| 巻番号（vol） | vol.111 |
| 号番号（no） | no.302(OME), no.303(OPE) |
| ページ範囲 | pp.31-36 |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2011-11-11 (OME, OPE) |
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