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講演抄録/キーワード
講演名 2011-12-15 09:00
[招待講演]テラヘルツ撮像センサと可搬型カメラの開発
佐々木得人NECED2011-108
抄録 (和) 23.5umピッチ、画素数320×240の非冷却テラヘルツ(THz)撮像センサとイメージングカメラの開発を行った。撮像センサは広帯域用と狭帯域用の2種類である。広帯域用のテラヘルツ撮像センサでは、ノイズ等価電力(NEP)の改善のため、センサにいくつかの改良を加えた。また、狭帯域用センサでは、広帯域用センサのMEMS画素上の1/2波長となる距離の位置に新構造となるシリコンカバーを実装開発し、センサ感度が3倍向上することを確認した。ロックインイメージング機能を開発し、S/N比がフレーム積分回数の二乗根に比例して増加することがわかった。これらの改良を加えた非冷却撮像センサを用いてTHz帯の有用性を確認するためのTHz撮像実験を行った。その結果について述べる。 
(英) Uncooled Terahertz (THz) focal plane array (FPA), 320x240 format-23.5 μm pitch, and THz imager were developed. There are two types of THz-FPAs, i.e., broad-band type and narrow-band type. Since broad-band type THz-FPA was developed, a couple of modifications have been made to improve Noise Equivalent Power. The narrow-band type THz-FPA has such a new structure that Si cover is put above thermal isolation structure of broad-band type THz-FPA at a distance of half of wavelength of interest. Measurements on responsivities of narrow-band type FPAs show enhancement by a factor of ca. 3. Lock-in imaging technique has been developed, which increases signal-to-noise ratio as a function of square root of the number of frames of integration. Both passive and active THz imaging experiments were finally described.
キーワード (和) テラヘルツ / 非冷却撮像センサ / 可搬型カメラ / マイクロボロメータ / ロックインイメージング / / /  
(英) Terahertz / Focal Plane Array / Handy Terahertz Camera / Micro Bolometer / Lock-in Imaging / / /  
文献情報 信学技報, vol. 111, no. 338, ED2011-108, pp. 45-50, 2011年12月.
資料番号 ED2011-108 
発行日 2011-12-07 (ED) 
ISSN Print edition: ISSN 0913-5685    Online edition: ISSN 2432-6380
著作権に
ついて
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034)
PDFダウンロード ED2011-108

研究会情報
研究会 ED  
開催期間 2011-12-14 - 2011-12-15 
開催地(和) 東北大学 電気通信研究所 片平キャンパス内 ナノ・スピン総合研究棟 
開催地(英) Tohoku University 
テーマ(和) ミリ波・テラヘルツ波デバイス・システム 
テーマ(英) Milimeter wave, terahertz device and systems 
講演論文情報の詳細
申込み研究会 ED 
会議コード 2011-12-ED 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) テラヘルツ撮像センサと可搬型カメラの開発 
サブタイトル(和)  
タイトル(英) Development of Terahertz Focal Plane Arrays and Handy Camera 
サブタイトル(英)  
キーワード(1)(和/英) テラヘルツ / Terahertz  
キーワード(2)(和/英) 非冷却撮像センサ / Focal Plane Array  
キーワード(3)(和/英) 可搬型カメラ / Handy Terahertz Camera  
キーワード(4)(和/英) マイクロボロメータ / Micro Bolometer  
キーワード(5)(和/英) ロックインイメージング / Lock-in Imaging  
キーワード(6)(和/英) /  
キーワード(7)(和/英) /  
キーワード(8)(和/英) /  
第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 佐々木 得人 / Tokuhito Sasaki / ササキ トクヒト
第1著者 所属(和/英) 日本電気株式会社 (略称: NEC)
NEC Corporation (略称: NEC Corp.)
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講演者 第1著者 
発表日時 2011-12-15 09:00:00 
発表時間 40分 
申込先研究会 ED 
資料番号 ED2011-108 
巻番号(vol) vol.111 
号番号(no) no.338 
ページ範囲 pp.45-50 
ページ数
発行日 2011-12-07 (ED) 


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