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講演抄録/キーワード
講演名 2011-12-16 13:30
紫外光用ポーラスシリカトゥーゼロオーダー波長板
志智慎介藤井 稔今北健二林 真至神戸大OPE2011-142
抄録 (和) (110)シリコンウェハーの陽極化成により作製したポーラスシリコンは面内に屈折率異方性を示す。この複屈折性ポーラスリコンの酸化により、複屈折性ポーラスシリカを作製した。作製した複屈折性ポーラスシリカの屈折率異方性(Δn)は酸化条件により異なり、Δnの最小値は0.001であった。複屈折性ポーラスシリカを用いて深紫外領域で機能するトゥルーゼロオーダー波長板を作製し、その特性評価を行った。 
(英) Porous silicon made from (110) Si wafers exhibits strong in-plane optical anisotropy (birefringence). Oxidation of the birefringent porous silicon results in the formation of birefringent porous silica. We demonstrate that the degree of the birefringence of porous silica can be controlled by the oxidation condition and very small birefringence can be achieved. The smallest anisotropy of the refractive index (Δn) is 0.001. The small birefringence allows us to produce true zero-order wave plates operating in the deep ultraviolet range.
キーワード (和) 波長板 / 複屈折 / 深紫外 / ポーラスシリコン / ポーラスシリカ / / /  
(英) Wave plate / Birefringence / Deep ultraviolet / Porous silicon / Porous silica / / /  
文献情報 信学技報, vol. 111, no. 358, OPE2011-142, pp. 7-11, 2011年12月.
資料番号 OPE2011-142 
発行日 2011-12-09 (OPE) 
ISSN Print edition: ISSN 0913-5685    Online edition: ISSN 2432-6380
著作権に
ついて
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PDFダウンロード OPE2011-142

研究会情報
研究会 OPE  
開催期間 2011-12-16 - 2011-12-16 
開催地(和) 機械振興会館 
開催地(英) Kikai-Shinko-Kaikan Bldg. 
テーマ(和) 光パッシブコンポネント(フィルタ、コネクタ、MEMS)、シリコンフォトニクス、光ファイバ、一般 
テーマ(英)  
講演論文情報の詳細
申込み研究会 OPE 
会議コード 2011-12-OPE 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) 紫外光用ポーラスシリカトゥーゼロオーダー波長板 
サブタイトル(和)  
タイトル(英) Ultraviolet true-zero order wave plate made of porous silica 
サブタイトル(英)  
キーワード(1)(和/英) 波長板 / Wave plate  
キーワード(2)(和/英) 複屈折 / Birefringence  
キーワード(3)(和/英) 深紫外 / Deep ultraviolet  
キーワード(4)(和/英) ポーラスシリコン / Porous silicon  
キーワード(5)(和/英) ポーラスシリカ / Porous silica  
キーワード(6)(和/英) /  
キーワード(7)(和/英) /  
キーワード(8)(和/英) /  
第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 志智 慎介 / Shinsuke Shichi / シチ シンスケ
第1著者 所属(和/英) 神戸大学 (略称: 神戸大)
Kobe University (略称: Kobe Univ.)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) 藤井 稔 / Minoru Fujii / フジイ ミノル
第2著者 所属(和/英) 神戸大学 (略称: 神戸大)
Kobe University (略称: Kobe Univ.)
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) 今北 健二 / Kenji Imakita / イマキタ ケンジ
第3著者 所属(和/英) 神戸大学 (略称: 神戸大)
Kobe University (略称: Kobe Univ.)
第4著者 氏名(和/英/ヨミ) 林 真至 / Shinji Hayashi / ハヤシ シンジ
第4著者 所属(和/英) 神戸大学 (略称: 神戸大)
Kobe University (略称: Kobe Univ.)
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講演者 第1著者 
発表日時 2011-12-16 13:30:00 
発表時間 25分 
申込先研究会 OPE 
資料番号 OPE2011-142 
巻番号(vol) vol.111 
号番号(no) no.358 
ページ範囲 pp.7-11 
ページ数
発行日 2011-12-09 (OPE) 


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