| 講演抄録/キーワード |
| 講演名 |
2011-12-16 13:30
紫外光用ポーラスシリカトゥーゼロオーダー波長板 ○志智慎介・藤井 稔・今北健二・林 真至(神戸大) OPE2011-142 |
| 抄録 |
(和) |
(110)シリコンウェハーの陽極化成により作製したポーラスシリコンは面内に屈折率異方性を示す。この複屈折性ポーラスリコンの酸化により、複屈折性ポーラスシリカを作製した。作製した複屈折性ポーラスシリカの屈折率異方性(Δn)は酸化条件により異なり、Δnの最小値は0.001であった。複屈折性ポーラスシリカを用いて深紫外領域で機能するトゥルーゼロオーダー波長板を作製し、その特性評価を行った。 |
| (英) |
Porous silicon made from (110) Si wafers exhibits strong in-plane optical anisotropy (birefringence). Oxidation of the birefringent porous silicon results in the formation of birefringent porous silica. We demonstrate that the degree of the birefringence of porous silica can be controlled by the oxidation condition and very small birefringence can be achieved. The smallest anisotropy of the refractive index (Δn) is 0.001. The small birefringence allows us to produce true zero-order wave plates operating in the deep ultraviolet range. |
| キーワード |
(和) |
波長板 / 複屈折 / 深紫外 / ポーラスシリコン / ポーラスシリカ / / / |
| (英) |
Wave plate / Birefringence / Deep ultraviolet / Porous silicon / Porous silica / / / |
| 文献情報 |
信学技報, vol. 111, no. 358, OPE2011-142, pp. 7-11, 2011年12月. |
| 資料番号 |
OPE2011-142 |
| 発行日 |
2011-12-09 (OPE) |
| ISSN |
Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 |
著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) |
| PDFダウンロード |
OPE2011-142 |
| 研究会情報 |
| 研究会 |
OPE |
| 開催期間 |
2011-12-16 - 2011-12-16 |
| 開催地(和) |
機械振興会館 |
| 開催地(英) |
Kikai-Shinko-Kaikan Bldg. |
| テーマ(和) |
光パッシブコンポネント(フィルタ、コネクタ、MEMS)、シリコンフォトニクス、光ファイバ、一般 |
| テーマ(英) |
|
| 講演論文情報の詳細 |
| 申込み研究会 |
OPE |
| 会議コード |
2011-12-OPE |
| 本文の言語 |
日本語 |
| タイトル(和) |
紫外光用ポーラスシリカトゥーゼロオーダー波長板 |
| サブタイトル(和) |
|
| タイトル(英) |
Ultraviolet true-zero order wave plate made of porous silica |
| サブタイトル(英) |
|
| キーワード(1)(和/英) |
波長板 / Wave plate |
| キーワード(2)(和/英) |
複屈折 / Birefringence |
| キーワード(3)(和/英) |
深紫外 / Deep ultraviolet |
| キーワード(4)(和/英) |
ポーラスシリコン / Porous silicon |
| キーワード(5)(和/英) |
ポーラスシリカ / Porous silica |
| キーワード(6)(和/英) |
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| キーワード(7)(和/英) |
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| キーワード(8)(和/英) |
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| 第1著者 氏名(和/英/ヨミ) |
志智 慎介 / Shinsuke Shichi / シチ シンスケ |
| 第1著者 所属(和/英) |
神戸大学 (略称: 神戸大)
Kobe University (略称: Kobe Univ.) |
| 第2著者 氏名(和/英/ヨミ) |
藤井 稔 / Minoru Fujii / フジイ ミノル |
| 第2著者 所属(和/英) |
神戸大学 (略称: 神戸大)
Kobe University (略称: Kobe Univ.) |
| 第3著者 氏名(和/英/ヨミ) |
今北 健二 / Kenji Imakita / イマキタ ケンジ |
| 第3著者 所属(和/英) |
神戸大学 (略称: 神戸大)
Kobe University (略称: Kobe Univ.) |
| 第4著者 氏名(和/英/ヨミ) |
林 真至 / Shinji Hayashi / ハヤシ シンジ |
| 第4著者 所属(和/英) |
神戸大学 (略称: 神戸大)
Kobe University (略称: Kobe Univ.) |
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| 講演者 |
第1著者 |
| 発表日時 |
2011-12-16 13:30:00 |
| 発表時間 |
25分 |
| 申込先研究会 |
OPE |
| 資料番号 |
OPE2011-142 |
| 巻番号(vol) |
vol.111 |
| 号番号(no) |
no.358 |
| ページ範囲 |
pp.7-11 |
| ページ数 |
5 |
| 発行日 |
2011-12-09 (OPE) |