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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2012-01-27 13:00 シングルトレンチ型SiON導波路TE-TMモード変換器 ○中山謙一・庄司雄哉・水本哲弥（東工大）  PN2011-71 OPE2011-187 LQE2011-173 EST2011-121 MWP2011-89 |
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| 抄録 | （和） | TE-TMモード変換器は，光回路における基本的な機能デバイスである．本研究ではシングルトレンチ型SiON導波路を用いたTE-TMモード変換器について検討した．このデバイスは従来のものと異なり，1回のマスク形成・エッチングプロセスで製作できる利点がある．本報告では，シングルトレンチ型SiON導波路TE-TMモード変換器の設計と製作，特性評価について述べる．シミュレーションの結果，TE-TMモード変換効率の波長依存性は波長1.25 μmから1.29 μmの範囲で0.3%以下と極めて小さいことがわかった．また，反応性イオンエッチングを用いて実際にシングルトレンチ構造を製作した．製作したデバイスのTE-TMモード変換効率を測定したところ，モード変換器長400 μmのデバイスで，波長1.27 μmにおいて最大で80%の変換効率が得られた． |
| （英） | A TE-TM mode converter is one of fundamental functional devices. The design, fabrication and characterization of TE-TM mode converter with a single trench SiON waveguide are described. The device has the advantage that only a single mask and etching process is needed to fabricate. Also, the wavelength dependence of mode conversion efficiency is shown to be less than 0.3% in a wavelength range between 1.25 μm to 1.29 μm. We succeeded in fabricating the single trench TE-TM mode converter in a SiON waveguide by using a reactive iron etching technique. A TE-TM mode conversion of 80% was measured at λ=1.27 μm in a fabricated device with a 400-μm-long single trench section. | |
| キーワード | （和） | TE-TMモード変換器 / SiON導波路 / TE-TMモード変換効率 / / / / / |
| （英） | TE-TM mode converter / SiON waveguide / TE-TM mode conversion efficiency / / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 111, no. 413, OPE2011-187, pp. 275-279, 2012年1月. | |
| 資料番号 | OPE2011-187 | |
| 発行日 | 2012-01-19 (PN, OPE, LQE, EST, MWP) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | PN2011-71 OPE2011-187 LQE2011-173 EST2011-121 MWP2011-89 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | EMT PN LQE OPE MWP EST IEE-EMT |
| 開催期間 | 2012-01-26 - 2012-01-27 |
| 開催地（和） | 大阪大学コンベンションセンター |
| 開催地（英） | Osaka Univ. Convention Center |
| テーマ（和） | フォトニックNW・デバイス，フォトニック結晶，ファイバとその応用，光集積回路，光導波路素子，光スイッチング，導波路解析，一般 |
| テーマ（英） | Photonic integrated circuits and devices, swtiching, PLC, fiber devices, waveguide analysis, and others |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | OPE |
| 会議コード | 2012-01-EMT-PN-LQE-OPE-MWP-EST-EMT |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | シングルトレンチ型SiON導波路TE-TMモード変換器 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Single trench SiON waveguide TE-TM mode converter |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | TE-TMモード変換器 / TE-TM mode converter |
| キーワード(2)（和/英） | SiON導波路 / SiON waveguide |
| キーワード(3)（和/英） | TE-TMモード変換効率 / TE-TM mode conversion efficiency |
| キーワード(4)（和/英） | / |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 中山 謙一 / Kenichi Nakayama / ナカヤマ ケンイチ |
| 第1著者 所属（和/英） | 東京工業大学 (略称： 東工大) Tokyo Institute of Technology (略称： Tokyo Tech) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 庄司 雄哉 / Yuya Shoji / ショウジ ユウヤ |
| 第2著者 所属（和/英） | 東京工業大学 (略称： 東工大) Tokyo Institute of Technology (略称： Tokyo Tech) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 水本 哲弥 / Tetsuya Mizumoto / ミズモト テツヤ |
| 第3著者 所属（和/英） | 東京工業大学 (略称： 東工大) Tokyo Institute of Technology (略称： Tokyo Tech) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2012-01-27 13:00:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | OPE |
| 資料番号 | PN2011-71, OPE2011-187, LQE2011-173, EST2011-121, MWP2011-89 |
| 巻番号（vol） | vol.111 |
| 号番号（no） | no.412(PN), no.413(OPE), no.414(LQE), no.415(EST), no.416(MWP) |
| ページ範囲 | pp.275-279 |
| ページ数 | 5 |
| 発行日 | 2012-01-19 (PN, OPE, LQE, EST, MWP) |
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