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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2012-05-18 15:40 静電マイクロアクチュエータを用いたサブ波長格子可変カラーフィルタ ○本間浩章・宮尾 肇・高橋一浩・石田 誠・澤田和明（豊橋技科大）  ED2012-39 CPM2012-23 SDM2012-41 |
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| 抄録 | （和） | サブ波長の回折格子ではその表面で格子の周期構造に応じた特定の波長のみが共鳴し反射される導波モード共鳴がある。可変構造をもつサブ波長格子の周期構造をMEMS技術により作製し、導波モード共鳴を制御できるNEMS(Nano Electro Mechanical System)可変カラーフィルタを提案した。サブ波長格子はSOI(Silicon on Insulator)基板上に製作しBOX(Buried Oxide)層を犠牲層としてエッチングすることで中空構造とした。製作した周期900 nm、格子幅500 nmのNEMS可変カラーフィルタに駆動電圧20 Vを印加することで構造色変化を確認した。さらに低電圧駆動を目指し、3本の電極を基本ユニットとして配置したNEMS可変カラーフィルタを作製した。この構造においては、駆動電圧として6.7 Vを印加すると可視光領域である680 nmの反射スペクトルが34 %減少した。よって低電圧で可視光領域の反射スペクトルに変化を与えることができる可変カラーフィルタを開発することに成功した。 |
| （英） | Sub-wavelength grating have The guided-mode resonance was obtained in surface of sub-wavelength grating. Particular wavelength reflected when resonance occurs. We have proposed a NEMS (Nano Electro Mechanical Systems) tunable color filter using electrostatic microactuator which can control the guided-mode resonance by tuning periodic structure. The sub-wavelength gratings were fabricated using SOI (Silicon on Insulator) wafer. The free-standing nano periodic structure was successfully developed by wet sacrificial etching using buffered HF and supercritical CO2 drying technique. Color tuning from yellow to green was obtained by drive voltage of 20 V. For low voltage driving, a color filter using another NEMS actuator with three pairs of electrode was also developed. We obtained the reflected light attenuation by 34 % at 680 nm wavelength with drive voltage of 6.7 V. | |
| キーワード | （和） | サブ波長格子 / 可変カラーフィルタ / MEMS/NEMS / SOI / / / / |
| （英） | Sub-wavelength grating / Tunable color filter / MEMS/NEMS / SOI / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 112, no. 32, ED2012-39, pp. 111-115, 2012年5月. | |
| 資料番号 | ED2012-39 | |
| 発行日 | 2012-05-10 (ED, CPM, SDM) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | ED2012-39 CPM2012-23 SDM2012-41 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | ED SDM CPM |
| 開催期間 | 2012-05-17 - 2012-05-18 |
| 開催地（和） | 豊橋技術科学大学ベンチャー・ビジネス・ラボラトリー |
| 開催地（英） | VBL, Toyohashi Univ. of Technol. |
| テーマ（和） | 結晶成長，評価及びデバイス（化合物，Si，SiGe，電子・光材料） |
| テーマ（英） | |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | ED |
| 会議コード | 2012-05-ED-SDM-CPM |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | 静電マイクロアクチュエータを用いたサブ波長格子可変カラーフィルタ |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | A tunable color filter based on sub-wavelength gratings using electrostatic microactuator |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | サブ波長格子 / Sub-wavelength grating |
| キーワード(2)（和/英） | 可変カラーフィルタ / Tunable color filter |
| キーワード(3)（和/英） | MEMS/NEMS / MEMS/NEMS |
| キーワード(4)（和/英） | SOI / SOI |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 本間 浩章 / Hiroaki Honma / ホンマ ヒロアキ |
| 第1著者 所属（和/英） | 豊橋技術科学大学 (略称： 豊橋技科大) Toyohashi University of Technology (略称： Toyohashi Tech.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 宮尾 肇 / Hajime Miyao / ミヤオ ハジメ |
| 第2著者 所属（和/英） | 豊橋技術科学大学 (略称： 豊橋技科大) Toyohashi University of Technology (略称： Toyohashi Tech.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 高橋 一浩 / Kazuhiro Takahashi / タカハシ カズヒロ |
| 第3著者 所属（和/英） | 豊橋技術科学大学 (略称： 豊橋技科大) Toyohashi University of Technology (略称： Toyohashi Tech.) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 石田 誠 / Makoto Ishida / イシダ マコト |
| 第4著者 所属（和/英） | 豊橋技術科学大学 (略称： 豊橋技科大) Toyohashi University of Technology (略称： Toyohashi Tech.) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | 澤田 和明 / Kazuaki Sawada / サワダ カズアキ |
| 第5著者 所属（和/英） | 豊橋技術科学大学 (略称： 豊橋技科大) Toyohashi University of Technology (略称： Toyohashi Tech.) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2012-05-18 15:40:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | ED |
| 資料番号 | ED2012-39, CPM2012-23, SDM2012-41 |
| 巻番号（vol） | vol.112 |
| 号番号（no） | no.32(ED), no.33(CPM), no.34(SDM) |
| ページ範囲 | pp.111-115 |
| ページ数 | 5 |
| 発行日 | 2012-05-10 (ED, CPM, SDM) |
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