| 講演抄録/キーワード |
| 講演名 |
2012-09-24 15:10
超音波マイクロスペクトロスコピー技術による石英ガラスの評価法 ~ 音響特性の仮想温度依存性におけるOHとClの影響 ~ ○荒川元孝・大橋雄二・丸山由子・櫛引淳一(東北大)・堀越秀春・森山賢二(東ソー・エスジーエム) US2012-62 |
| 抄録 |
(和) |
本報では、超音波マイクロスペクトロスコピー技術による石英ガラスの評価方法について検討を行った。OH濃度およびCl濃度が異なる6種類の合成石英ガラスを用意した。試料を異なる温度で熱処理することにより、仮想温度の異なる試料を用意した。試料に対して、縦波音速、漏洩弾性表面波速度、密度を測定した。音響特性の仮想温度依存性、OH濃度依存性、Cl濃度依存性を求めた。その結果、音響特性は仮想温度に対する感度が高く、OH濃度やCl濃度による影響は小さいことがわかった。縦波音速測定は、石英ガラスの仮想温度分布を評価するのに有用である。 |
| (英) |
In this paper, an evaluation method of silica glasses by the ultrasonic microspectroscopy technology was discussed. Six kinds of synthetic silica glasses were prepared. The glasses were heat-treated at different annealing temperatures to obtain specimens with different fictive temperatures. Longitudinal velocities, leaky surface wave acoustic wave velocities, and densities were measured for the specimens. The fictive temperature, OH concentration, and Cl concentration dependences of acoustic properties were obtained. As the results, the acoustic properties had high sensitivity to the fictive temperatures. In contrast, those were slightly affected by the concentrations of OH and Cl. Longitudinal velocity measurements are extremely useful for evaluation of fictive temperature distributions of silica glasses. |
| キーワード |
(和) |
超音波マイクロスペクトロスコピー技術 / 石英ガラス / 仮想温度 / 縦波音速 / 密度 / OH基 / 塩素 / |
| (英) |
Ultrasonic microspectroscopy technology / Synthetic silica glass / Fictive temperature / Velocity / Density / Hydroxyl group / Chlorine / |
| 文献情報 |
信学技報, vol. 112, no. 213, US2012-62, pp. 27-32, 2012年9月. |
| 資料番号 |
US2012-62 |
| 発行日 |
2012-09-17 (US) |
| ISSN |
Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 |
著作権に ついて |
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US2012-62 |