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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2012-10-17 14:20 有機物・ポリマーのための質量顕微鏡の開発 ○坂本哲夫（工学院大）  OME2012-49 |
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| 抄録 | （和） | 近年有機デバイスの開発が進んでいるが、多くは多層膜・パターニング等の微小構造によりその機能を発現している。成膜の良否、混合比の決定、劣化メカニズムの解析においては、SEMによる観察だけではなく、同等の顕微鏡的観察が可能な成分分析法が必要である。そうしたニーズに堪えるべく、有機物やポリマーの同定能力をもつ質量顕微鏡の開発を進めてきた。本装置では、従来法とくらべ、感度に優れているほか、ポリマーにおいては直接的に構造情報が得られる可能性を示しており、新規な手法としての確立を目指している。本報では、装置の解説ならびに基礎データを示す。 |
| （英） | Recent progress in organic devices is based on stacked-multilayers and patterning which rise the device functions. In this field, analysis methods for the evaluation of thinfilm, mixing ratio, degradation are required. Such methods should be microscopic like SEM. The author has been developed a mass microscope on the basis of Time-of-Flight Secondary Ion Mass Spectrometry (TOF-SIMS). The apparatus can get higher sensitivity and direct information of organics and polymers compared with conventional TOF-SIMS. In this paper, the design of the apparatus including some demonstration data is presented. | |
| キーワード | （和） | 表面分析 / 二次イオン質量分析 / イメージング / レーザーイオン化 / 有機物・ポリマー / / / |
| （英） | surface analysis / SIMS / imaging / laser-ionization / organics and polymers / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 112, no. 244, OME2012-49, pp. 21-25, 2012年10月. | |
| 資料番号 | OME2012-49 | |
| 発行日 | 2012-10-10 (OME) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | OME2012-49 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | OME |
| 開催期間 | 2012-10-17 - 2012-10-17 |
| 開催地（和） | 機械振興会館 B1F 3号室 |
| 開催地（英） | Kikai-Shinko-Kaikan Bldg. |
| テーマ（和） | 有機デバイス全般・一般 |
| テーマ（英） | General Aspects of Organic Devices |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | OME |
| 会議コード | 2012-10-OME |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | 有機物・ポリマーのための質量顕微鏡の開発 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Development of Mass Imaging Apparatus for Organics and Polymers |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | 表面分析 / surface analysis |
| キーワード(2)（和/英） | 二次イオン質量分析 / SIMS |
| キーワード(3)（和/英） | イメージング / imaging |
| キーワード(4)（和/英） | レーザーイオン化 / laser-ionization |
| キーワード(5)（和/英） | 有機物・ポリマー / organics and polymers |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 坂本 哲夫 / Tetsuo Sakamoto / サカモト テツオ |
| 第1著者 所属（和/英） | 工学院大学 (略称： 工学院大) Kogakuin University (略称： Kogakuin Univ.) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2012-10-17 14:20:00 |
| 発表時間 | 20分 |
| 申込先研究会 | OME |
| 資料番号 | OME2012-49 |
| 巻番号（vol） | vol.112 |
| 号番号（no） | no.244 |
| ページ範囲 | pp.21-25 |
| ページ数 | 5 |
| 発行日 | 2012-10-10 (OME) |
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