講演抄録/キーワード |
講演名 |
2012-11-16 13:30
UV/O3アシスト熱処理法による塗布型酸化物FETの特性向上 ○酒井 渉・山内 博・國吉繁一・飯塚正明・酒井正俊・工藤一浩(千葉大) OME2012-56 OPE2012-128 エレソ技報アーカイブへのリンク:OME2012-56 OPE2012-128 |
抄録 |
(和) |
有機ELディスプレイとして優位性を有するアクティブマトリクス駆動型の新型構造素子を提案した。また駆動用トランジスタの半導体層として塗布型ZnO系材料に着目し透明ZnOトランジスタを作製した。一般にZnO薄膜は熱処理を行うことで特性の向上が見込まれるが、プラスチック基板等に対応するためには加熱温度を可能なだけ低温化させることが望ましい。そこで今回はUV/O3アシスト熱処理法を行い、プロセス温度の低温化を実現した。 |
(英) |
We proposed the organic light emitting transistors (OLETs) with transparent ZnO FET. In this study, we fabricated wet processed ZnO film as a semiconductor layer, and investigated the effects of UV/O3 and thermal treatment on ZnO FET characteristics. The relation between the carrier mobility ( and thermal treatment temperature of ZnO films indicates that the  is almost proportional to treatment temperature, and the UV/O3 treatment assists to lowering the thermal treatment temperature. These results demonstrate that this treatment enable to fabricate OLETs on the flexible films such as plastic films. |
キーワード |
(和) |
塗布型ZnO / 透明ZnOトランジスタ / 有機発光透明トランジスタ / UV/O3アシスト熱処理 / / / / |
(英) |
wet processed ZnO / transparent ZnO transistor / organic light emitting transparent transistor / UV/O3 assisted thermal treatment / / / / |
文献情報 |
信学技報, vol. 112, no. 295, OME2012-56, pp. 7-11, 2012年11月. |
資料番号 |
OME2012-56 |
発行日 |
2012-11-09 (OME, OPE) |
ISSN |
Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 |
著作権に ついて |
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