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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2012-11-16 13:30 UV/O3アシスト熱処理法による塗布型酸化物FETの特性向上 ○酒井 渉・山内 博・國吉繁一・飯塚正明・酒井正俊・工藤一浩（千葉大）  OME2012-56 OPE2012-128 |
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| 抄録 | （和） | 有機ELディスプレイとして優位性を有するアクティブマトリクス駆動型の新型構造素子を提案した。また駆動用トランジスタの半導体層として塗布型ZnO系材料に着目し透明ZnOトランジスタを作製した。一般にZnO薄膜は熱処理を行うことで特性の向上が見込まれるが、プラスチック基板等に対応するためには加熱温度を可能なだけ低温化させることが望ましい。そこで今回はUV/O3アシスト熱処理法を行い、プロセス温度の低温化を実現した。 |
| （英） | We proposed the organic light emitting transistors (OLETs) with transparent ZnO FET. In this study, we fabricated wet processed ZnO film as a semiconductor layer, and investigated the effects of UV/O3 and thermal treatment on ZnO FET characteristics. The relation between the carrier mobility ( and thermal treatment temperature of ZnO films indicates that the  is almost proportional to treatment temperature, and the UV/O3 treatment assists to lowering the thermal treatment temperature. These results demonstrate that this treatment enable to fabricate OLETs on the flexible films such as plastic films. | |
| キーワード | （和） | 塗布型ZnO / 透明ZnOトランジスタ / 有機発光透明トランジスタ / UV/O3アシスト熱処理 / / / / |
| （英） | wet processed ZnO / transparent ZnO transistor / organic light emitting transparent transistor / UV/O3 assisted thermal treatment / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 112, no. 295, OME2012-56, pp. 7-11, 2012年11月. | |
| 資料番号 | OME2012-56 | |
| 発行日 | 2012-11-09 (OME, OPE) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | OME2012-56 OPE2012-128 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | OME OPE |
| 開催期間 | 2012-11-16 - 2012-11-16 |
| 開催地（和） | 機械振興会館 |
| 開催地（英） | Kikai-Shinko-Kaikan Bldg. |
| テーマ（和） | 光機能性有機材料・デバイス、光非線形現象、一般 |
| テーマ（英） | |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | OME |
| 会議コード | 2012-11-OME-OPE |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | UV/O3アシスト熱処理法による塗布型酸化物FETの特性向上 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Improvement of wet processed ZnO FET characteristics by UV/O3 assisted thermal treatments |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | 塗布型ZnO / wet processed ZnO |
| キーワード(2)（和/英） | 透明ZnOトランジスタ / transparent ZnO transistor |
| キーワード(3)（和/英） | 有機発光透明トランジスタ / organic light emitting transparent transistor |
| キーワード(4)（和/英） | UV/O3アシスト熱処理 / UV/O3 assisted thermal treatment |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 酒井 渉 / Wataru Sakai / サカイ ワタル |
| 第1著者 所属（和/英） | 千葉大学 (略称： 千葉大) Chiba University (略称： Chiba Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 山内 博 / Hiroshi Yamauchi / ヤマウチ ヒロシ |
| 第2著者 所属（和/英） | 千葉大学 (略称： 千葉大) Chiba University (略称： Chiba Univ.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 國吉 繁一 / Shigekazu Kuniyoshi / クニヨシ シゲカズ |
| 第3著者 所属（和/英） | 千葉大学 (略称： 千葉大) Chiba University (略称： Chiba Univ.) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 飯塚 正明 / Masaaki Iizuka / イイズカ マサアキ |
| 第4著者 所属（和/英） | 千葉大学 (略称： 千葉大) Chiba University (略称： Chiba Univ.) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | 酒井 正俊 / Masatoshi Sakai / サカイ マサトシ |
| 第5著者 所属（和/英） | 千葉大学 (略称： 千葉大) Chiba University (略称： Chiba Univ.) |
| 第6著者 氏名（和/英/ヨミ） | 工藤 一浩 / Kazuhiro Kudo / クドウ カズヒロ |
| 第6著者 所属（和/英） | 千葉大学 (略称： 千葉大) Chiba University (略称： Chiba Univ.) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2012-11-16 13:30:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | OME |
| 資料番号 | OME2012-56, OPE2012-128 |
| 巻番号（vol） | vol.112 |
| 号番号（no） | no.295(OME), no.296(OPE) |
| ページ範囲 | pp.7-11 |
| ページ数 | 5 |
| 発行日 | 2012-11-09 (OME, OPE) |
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