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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2012-12-07 11:00 イオン液体BMIM-PF6イオンビーム照射によるガラス基板の表面改質 ○竹内光明・濱口拓也・龍頭啓充・高岡義寛（京大）  SDM2012-119 |
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| 抄録 | （和） | イオン液体は常温で液体のイオン性化合物であり，1~数百 mS/cm 程度の高い導電性を有し，蒸気圧は極めて低いため，近年注目されている溶媒材料である．本研究では炭素チップを用いたイオン液体イオン源を開発し，イオン液体 BMIM-PF$_6$ イオンビーム照射によるホウケイ酸ガラス基板の表面改質の可能性を検討した．その結果，加速電圧$\pm$4 kV，照射量1$\times$10$^{15}$ ions/cm$^2$ にて，ガラス基板表面の算術平均粗さが低下することを見い出した． |
| （英） | Ionic liquids(ILs) are known to be potential solvents for green chemistry in the recent years, which are molten salt at room temperature with a high ionic conductivity of order of 100 mS/cm and unmeasurably low vapor pressure. In this study, we developed an ionic liquid ion source(ILIS) consisting of carbon tip and investigated irradiation effects on a glass substrate with respect to surface smoothing. As a result, it was found that surface roughness irradiated with ion beam of BMIM-PF$_6$ at 4 kV and fluence of 1$\times$10$^{15}$ ions/cm$^2$ was decreased. |
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| キーワード | （和） | イオン液体 / イオン照射 / ガラス基板 / 表面平坦化 / / / / |
| （英） | ionic liquide / ion beam irradiation / glass / surface smoothing / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 112, no. 337, SDM2012-119, pp. 25-30, 2012年12月. | |
| 資料番号 | SDM2012-119 | |
| 発行日 | 2012-11-30 (SDM) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | SDM2012-119 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | SDM |
| 開催期間 | 2012-12-07 - 2012-12-07 |
| 開催地（和） | 京都大学(桂) |
| 開催地（英） | Kyoto Univ. (Katsura) |
| テーマ（和） | シリコン関連材料の作製と評価 |
| テーマ（英） | Fabrication and Characterization of Si-related Materials and Devices |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | SDM |
| 会議コード | 2012-12-SDM |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | イオン液体BMIM-PF6イオンビーム照射によるガラス基板の表面改質 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Surface Modification of Glass Substrate by Ion Beam Irradiation of Ionic Liquid BMIM-PF6 |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | イオン液体 / ionic liquide |
| キーワード(2)（和/英） | イオン照射 / ion beam irradiation |
| キーワード(3)（和/英） | ガラス基板 / glass |
| キーワード(4)（和/英） | 表面平坦化 / surface smoothing |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 竹内 光明 / Mitsuaki Takeuchi / タケウチ ミツアキ |
| 第1著者 所属（和/英） | 京都大学 (略称： 京大) Kyoto University (略称： Kyoto Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 濱口 拓也 / Takuya Hamaguchi / ハマグチ タクヤ |
| 第2著者 所属（和/英） | 京都大学 (略称： 京大) Kyoto University (略称： Kyoto Univ.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 龍頭 啓充 / Hiromichi Ryuto / リュウトウ ヒロミチ |
| 第3著者 所属（和/英） | 京都大学 (略称： 京大) Kyoto University (略称： Kyoto Univ.) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 高岡 義寛 / Gikan H. Takaoka / タカオカ ギカン |
| 第4著者 所属（和/英） | 京都大学 (略称： 京大) Kyoto University (略称： Kyoto Univ.) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2012-12-07 11:00:00 |
| 発表時間 | 15分 |
| 申込先研究会 | SDM |
| 資料番号 | SDM2012-119 |
| 巻番号（vol） | vol.112 |
| 号番号（no） | no.337 |
| ページ範囲 | pp.25-30 |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2012-11-30 (SDM) |
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