講演抄録/キーワード |
講演名 |
2013-02-19 14:25
電極/回転Y-X LiTaO3基板及び高温度安定・高結合SiO2/回転Y-X LiTaO3基板の擬似弾性表面波の伝搬特性の解析 ○山之内和彦(東北大) US2012-114 |
抄録 |
(和) |
電極/回転Y-XLiTaO3基板、及びSiO2 /電極/ 回転Y-X LiTaO3基板の擬似弾性表面波の伝搬特性を解析し、金属電極、誘電体膜を付着させることにより、回転角に対するShort、Openでの伝搬減衰が異なること、及びSiO2膜厚 H/λ(H:SiO2膜厚、λ:弾性表面波の波長)が0.20付近において、k2が0.05以上、界面短絡の場合、伝搬減衰が零, 周波数温度特性(TCF)が、零でかつ広い温度範囲で良好な温度特性をもち、かつスプリアス特性の良好な基板が得られた結果について報告する。 |
(英) |
Leaky Surface Wave Propagation Property of Rotated Y-X LiTaO3 and SiO2/Electrodes/Rotated Y-X LiTaO3 Structur are described. The results showed zero TCF and zero decays with high coupling substrates for the film thickness of H/λ=0.2. |
キーワード |
(和) |
擬似弾性表面波 / LiTaO3単結晶 / 伝搬速度 / 伝搬減衰 / 電気機械結合係数 / / / |
(英) |
Leaky Surface Wave / LiTaO3 / Velocity / Propagation Loss / Coupling coeff. / / / |
文献情報 |
信学技報, vol. 112, no. 437, US2012-114, pp. 19-24, 2013年2月. |
資料番号 |
US2012-114 |
発行日 |
2013-02-12 (US) |
ISSN |
Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 |
著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) |
PDFダウンロード |
US2012-114 |
研究会情報 |
研究会 |
US |
開催期間 |
2013-02-19 - 2013-02-19 |
開催地(和) |
機械振興会館 |
開催地(英) |
Kikai-Shinko-Kaikan Bldg. |
テーマ(和) |
アコースティックイメージング、一般 (共催:日本音響学会アコースティックイメージング研究会) (協賛:日本非破壊検査協会) |
テーマ(英) |
Acoustic Imaging, General, etc |
講演論文情報の詳細 |
申込み研究会 |
US |
会議コード |
2013-02-US |
本文の言語 |
日本語 |
タイトル(和) |
電極/回転Y-X LiTaO3基板及び高温度安定・高結合SiO2/回転Y-X LiTaO3基板の擬似弾性表面波の伝搬特性の解析 |
サブタイトル(和) |
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タイトル(英) |
High Temperature Stable Leaky Surface Wave Propagation Properties of SiO2/Electrodes/Rotated Y-X LiTaO3 Structure with Super High Coupling |
サブタイトル(英) |
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キーワード(1)(和/英) |
擬似弾性表面波 / Leaky Surface Wave |
キーワード(2)(和/英) |
LiTaO3単結晶 / LiTaO3 |
キーワード(3)(和/英) |
伝搬速度 / Velocity |
キーワード(4)(和/英) |
伝搬減衰 / Propagation Loss |
キーワード(5)(和/英) |
電気機械結合係数 / Coupling coeff. |
キーワード(6)(和/英) |
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キーワード(7)(和/英) |
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キーワード(8)(和/英) |
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第1著者 氏名(和/英/ヨミ) |
山之内 和彦 / Kazuhiko Yamanouchi / ヤマノウチ カズヒコ |
第1著者 所属(和/英) |
東北大学 (略称: 東北大)
Tohoku University (略称: Tohoku Univ.) |
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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第3著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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第15著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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第16著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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第20著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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講演者 |
第1著者 |
発表日時 |
2013-02-19 14:25:00 |
発表時間 |
25分 |
申込先研究会 |
US |
資料番号 |
US2012-114 |
巻番号(vol) |
vol.112 |
号番号(no) |
no.437 |
ページ範囲 |
pp.19-24 |
ページ数 |
6 |
発行日 |
2013-02-12 (US) |