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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2013-03-05 16:20 局所領域における静電気の制御に関する研究 ～ 静電気力顕微鏡を用いた帯電の観測 ～ ○菊永和也・野中一洋（産総研）  OME2012-101 |
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| 抄録 | （和） | 静電気は生産プロセスにおいてコンタミネーションや静電気放電など様々な問題の原因となっており，特に微小スケールにおいてその影響は大きくなる．このような帯電現象はすべての材料において発生するため，その制御は極めて重要である．本研究では，μmオーダーの局所領域で，接触，剥離，電子ビームを用いた静電気制御の試みについて報告する． |
| （英） | Static electricity is the cause of various problems, such as contamination and electrostatic discharge in the production process, and the influence is greater in microscopic area. The control of charge is very important because the electrification occurs in all materials. In this study, we report on the attempt of controlling electrostatics in the local area using the physical contact, the discharge during separation process and the electron beam. | |
| キーワード | （和） | 静電気 / 帯電 / 静電気力顕微鏡 / 表面 / 制御 / / / |
| （英） | static electricity / electrostatic charge / electrostatic force microscopy / surface / control / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 112, no. 456, OME2012-101, pp. 47-50, 2013年3月. | |
| 資料番号 | OME2012-101 | |
| 発行日 | 2013-02-26 (OME) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | OME2012-101 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | OME |
| 開催期間 | 2013-03-05 - 2013-03-05 |
| 開催地（和） | 産総研九州センター |
| 開催地（英） | AIST Kyushu Center |
| テーマ（和） | バイオ、エレクトロニクス、材料、界面、その場観察、その他一般 |
| テーマ（英） | biotechnology, electronics, materials, interfaces, in situ observation, etc. |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | OME |
| 会議コード | 2013-03-OME |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | 局所領域における静電気の制御に関する研究 |
| サブタイトル（和） | 静電気力顕微鏡を用いた帯電の観測 |
| タイトル（英） | Study on control of static electricity in the local area |
| サブタイトル（英） | Observation of charge using electrostatic force microscopy |
| キーワード(1)（和/英） | 静電気 / static electricity |
| キーワード(2)（和/英） | 帯電 / electrostatic charge |
| キーワード(3)（和/英） | 静電気力顕微鏡 / electrostatic force microscopy |
| キーワード(4)（和/英） | 表面 / surface |
| キーワード(5)（和/英） | 制御 / control |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 菊永 和也 / Kazuya Kikunaga / キクナガ カズヤ |
| 第1著者 所属（和/英） | 産業技術総合研究所 (略称： 産総研) National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (略称： AIST) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 野中 一洋 / Kazuhiro Nonaka / ノナカ カズヒロ |
| 第2著者 所属（和/英） | 産業技術総合研究所 (略称： 産総研) National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (略称： AIST) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2013-03-05 16:20:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | OME |
| 資料番号 | OME2012-101 |
| 巻番号（vol） | vol.112 |
| 号番号（no） | no.456 |
| ページ範囲 | pp.47-50 |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | 2013-02-26 (OME) |
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