| 電子情報通信学会 研究会発表申込システム 講演論文 詳細 |
技報閲覧サービス [ログイン] 技報アーカイブ |
| トップに戻る | 前のページに戻る | [Japanese] / [English] |
| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2013-04-19 09:25 撥液レジストを用いた銀ナノ粒子電極の微細パターン形成 ○菅野 亮・竹田泰典・小林 悠・福田憲二郎・熊木大介・時任静士（山形大）  ED2013-10 |
|
| 抄録 | （和） | 近年、省エネルギー性の観点から、印刷法を用いた電子デバイスの作製技術が注目されている。我々は、基板表面に親液部と撥液部をパターニングし、その基板上に銀ナノ粒子などの塗布成膜できる電極材料をスピンコート成膜するだけで微細な電極を形成できる手法を報告している[1]。この手法では、プラズマ表面処理により親液部と撥液部をパターニングしており、チャネル長が50 µm程度の有機トランジスタが作成可能である。しかしながら、この手法では、トランジスタに要求されるチャネル長10 µm以下の実現は困難である。本研究では、UV硬化性で硬化後に撥液性を示す撥液レジストを用いて撥液部と親撥液部をパターニングすることで、塗布成膜した電極でチャネル長10 µm以下の非常に微細な電極を作製することに成功した。本手法をソース・ドレイン電極に用いた有機トランジスタの特性は、移動度0.03 cm2/Vs、オン/オフ比106を示した。 |
| （英） | Recently, from the point of view of energy-saving and low cost, fabrication method for electronic devices by using solution process is attracting much attention. We reported the simple pattering method using printable electrode such as silver nanoparticles ink, which was patterned by the difference of hydrophilic and hydrophobic properties of the surface . In this method, since oxygen plasma was employed for pattering process for the hydrophilic and hydrophobic surface, about 50 µm channel length could be obtained. In this study, to obtain shorter channel length (less than 10 μm), we have developed new fine pattering method for silver nanoparticle ink using hydrophobic photoresist, which have high water contact angle of more than 90. The photoresist layer can be patterned precisely by using ultraviolet (UV) curing through photo masks. After pattering the hydrophobic photoresist using photolithography, silver nanoparticle ink was spin-coated on the patterned substrate. Silver nanoparticle ink was spontaneously patterned along the hydrophilic pattern. As a result, very short channel electrode (less than 10 µm) was successfully achieved by simple spin-coating process. By applying this method to the organic thin-film transistors, we obtained mobility of 0.03 cm^2/Vs and on/off ratio of 10^6. | |
| キーワード | （和） | 有機薄膜トランジスタ / 銀ナノ粒子電極 / 溶液プロセス / 親撥液パターニング / / / / |
| （英） | Organic Thin-film Transistor / Silver nanoparticle / Solution process / Hydrophilic and hydrophobic pattering / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 113, no. 9, ED2013-10, pp. 37-40, 2013年4月. | |
| 資料番号 | ED2013-10 | |
| 発行日 | 2013-04-11 (ED) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | ED2013-10 |
|
| 研究会情報 | |
| 研究会 | ED |
| 開催期間 | 2013-04-18 - 2013-04-19 |
| 開催地（和） | 東北大学電通研 片平北キャンパス ナノ・スピン総合研究棟4階 カンファレンスルーム |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | 有機デバイス・酸化物デバイス・一般 |
| テーマ（英） | Organic Devices, Oxide Devices, and others |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | ED |
| 会議コード | 2013-04-ED |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | 撥液レジストを用いた銀ナノ粒子電極の微細パターン形成 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Fine patterning method for silver nanoparticle electrodes by using hydrophobic resist |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | 有機薄膜トランジスタ / Organic Thin-film Transistor |
| キーワード(2)（和/英） | 銀ナノ粒子電極 / Silver nanoparticle |
| キーワード(3)（和/英） | 溶液プロセス / Solution process |
| キーワード(4)（和/英） | 親撥液パターニング / Hydrophilic and hydrophobic pattering |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 菅野 亮 / Ryo Sugano / スガノ リョウ |
| 第1著者 所属（和/英） | 山形大学 (略称： 山形大) Yamagata University (略称： Yamagata Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 竹田 泰典 / Yasunori Takeda / タケダ ヤスノリ |
| 第2著者 所属（和/英） | 山形大学 (略称： 山形大) Yamagata University (略称： Yamagata Univ.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 小林 悠 / Yu Kobayashi / コバヤシ ユウ |
| 第3著者 所属（和/英） | 山形大学 (略称： 山形大) Yamagata University (略称： Yamagata Univ.) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 福田 憲二郎 / Kenjiro Fukuda / フクダ ケンジロウ |
| 第4著者 所属（和/英） | 山形大学 (略称： 山形大) Yamagata University (略称： Yamagata Univ.) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | 熊木 大介 / Daisuke Kumaki / クマキ ダイスケ |
| 第5著者 所属（和/英） | 山形大学 (略称： 山形大) Yamagata University (略称： Yamagata Univ.) |
| 第6著者 氏名（和/英/ヨミ） | 時任 静士 / Shizuo Tokito / トキトウ シズオ |
| 第6著者 所属（和/英） | 山形大学 (略称： 山形大) Yamagata University (略称： Yamagata Univ.) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2013-04-19 09:25:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | ED |
| 資料番号 | ED2013-10 |
| 巻番号（vol） | vol.113 |
| 号番号（no） | no.9 |
| ページ範囲 | pp.37-40 |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | 2013-04-11 (ED) |
[研究会発表申込システムのトップページに戻る]