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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2013-04-19 13:10 スパイラル共振器を用いたマイクロ波力学インダクタンス検出器アレイの設計と評価 ○林 賢人・齊藤 敦・小川裕平・村田光茂・田中 希・澤田俊宏・中島健介・山田博信（山形大）・有吉誠一郎（名工大）・田井野 徹・田之上寛之（埼玉大）・大谷知行（理研）・大嶋重利（山形大）  SCE2013-8 MW2013-8 エレソ技報アーカイブへのリンク：SCE2013-8 MW2013-8 |
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| 抄録 | （和） | 対称スパイラル共振器を用いたマイクロ波力学インダクタンス検出器(Microwave Kinetic Inductance Detectors: MKIDs)アレイの設計を行った。電磁界シミュレーションにより，無負荷Q値 2$\times$10^5，最大減衰量 30 dB の半波長共振器が得られた。DCマグネトロンスパッタリング法によりm 面サファイア基板上に成膜したNbN薄膜を用いて9素子アレイMKIDsを作製した。マイクロ波特性はベクトルネットワークアナライザにより測定し，4.7 GHz近傍において9素子に対応した半波長共振が確認された。 |
| （英） | We designed and fabricated microwave kinetic inductance detectors (MKIDs) using niobium nitride (NbN) symmetric spiral resonator array. The total length of resonator was adjusted to the effective guided half-wavelength for each resonator keeping the symmetric structure. We conducted simulations for 9-arrays assuming an NbN as the superconducting material and sapphire as the dielectric substrate and obtained maximum attenuation of over 30 dB and unloaded quality factors of over 2$\times$10^5. We fabricated 9-arrays MKIDs using the NbN thin film deposited on the m-sapphire substrate by using dc magnetron sputtering. The microwave response passing through MKIDs and a low-noise amplifier was measured using a vector network analyzer. We observed 9 half-wavelength resonances around 4.7 GHz. | |
| キーワード | （和） | MKIDs / 対称スパイラル共振器 / / / / / / |
| （英） | MKIDs / Symmetric spiral resonator / / / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 113, no. 11, SCE2013-8, pp. 39-42, 2013年4月. | |
| 資料番号 | SCE2013-8 | |
| 発行日 | 2013-04-12 (SCE, MW) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | SCE2013-8 MW2013-8 エレソ技報アーカイブへのリンク：SCE2013-8 MW2013-8 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | MW SCE WPT |
| 開催期間 | 2013-04-19 - 2013-04-19 |
| 開催地（和） | 機械振興会館 |
| 開催地（英） | Kikai-Shinko-Kaikan Bldg. |
| テーマ（和） | マイクロ波超伝導，マイクロ波一般 |
| テーマ（英） | Superconducting microwave technologies, etc. |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | SCE |
| 会議コード | 2013-04-MW-SCE-WPT |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | スパイラル共振器を用いたマイクロ波力学インダクタンス検出器アレイの設計と評価 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Design and Evaluation of Microwave Kinetic Inductance Detectors using Spiral Resonator Array |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | MKIDs / MKIDs |
| キーワード(2)（和/英） | 対称スパイラル共振器 / Symmetric spiral resonator |
| キーワード(3)（和/英） | / |
| キーワード(4)（和/英） | / |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 林 賢人 / Kento Hayashi / ハヤシ ケント |
| 第1著者 所属（和/英） | 山形大学 (略称： 山形大) Yamagata University (略称： Yamagata Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 齊藤 敦 / Atsushi Saito / サイトウ アツシ |
| 第2著者 所属（和/英） | 山形大学 (略称： 山形大) Yamagata University (略称： Yamagata Univ.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 小川 裕平 / Yuhei Ogawa / オガワ ユウヘイ |
| 第3著者 所属（和/英） | 山形大学 (略称： 山形大) Yamagata University (略称： Yamagata Univ.) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 村田 光茂 / Mitsushige Murata / ムラタ ミツシゲ |
| 第4著者 所属（和/英） | 山形大学 (略称： 山形大) Yamagata University (略称： Yamagata Univ.) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | 田中 希 / Nozomu Tanaka / タナカ ノゾム |
| 第5著者 所属（和/英） | 山形大学 (略称： 山形大) Yamagata University (略称： Yamagata Univ.) |
| 第6著者 氏名（和/英/ヨミ） | 澤田 俊宏 / Toshihiro Sawada / サワダ トシヒロ |
| 第6著者 所属（和/英） | 山形大学 (略称： 山形大) Yamagata University (略称： Yamagata Univ.) |
| 第7著者 氏名（和/英/ヨミ） | 中島 健介 / Kensuke Nakajima / ナカジマ ケンスケ |
| 第7著者 所属（和/英） | 山形大学 (略称： 山形大) Yamagata University (略称： Yamagata Univ.) |
| 第8著者 氏名（和/英/ヨミ） | 山田 博信 / Hironobu Yamada / ヤマダ ヒロノブ |
| 第8著者 所属（和/英） | 山形大学 (略称： 山形大) Yamagata University (略称： Yamagata Univ.) |
| 第9著者 氏名（和/英/ヨミ） | 有吉 誠一郎 / Seiichiro Ariyoshi / アリヨシ セイイチロウ |
| 第9著者 所属（和/英） | 名古屋工業大学 (略称： 名工大) Nagoya Institute of Technology (略称： NITech) |
| 第10著者 氏名（和/英/ヨミ） | 田井野 徹 / Tohru Taino / タイノ トオル |
| 第10著者 所属（和/英） | 埼玉大学 (略称： 埼玉大) Saitama University (略称： Saitama Univ.) |
| 第11著者 氏名（和/英/ヨミ） | 田之上 寛之 / Hiroyuki Tanoue / タノウエ ヒロユキ |
| 第11著者 所属（和/英） | 埼玉大学 (略称： 埼玉大) Saitama University (略称： Saitama Univ.) |
| 第12著者 氏名（和/英/ヨミ） | 大谷 知行 / Chiko Otani / オオタニ チコウ |
| 第12著者 所属（和/英） | 理化学研究所 (略称： 理研) RIKEN (略称： RIKEN) |
| 第13著者 氏名（和/英/ヨミ） | 大嶋 重利 / Shigetoshi Ohshima / オオシマ シゲトシ |
| 第13著者 所属（和/英） | 山形大学 (略称： 山形大) Yamagata University (略称： Yamagata Univ.) |
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| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2013-04-19 13:10:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | SCE |
| 資料番号 | SCE2013-8, MW2013-8 |
| 巻番号（vol） | vol.113 |
| 号番号（no） | no.11(SCE), no.12(MW) |
| ページ範囲 | pp.39-42 |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | 2013-04-12 (SCE, MW) |
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