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講演抄録/キーワード
講演名 2013-04-19 11:10
フレキシブル・ソフトマテリアル上の室温シリカコーティング
鹿又健作鈴木貴彦久保田 繁廣瀬文彦山形大ED2013-14 エレソ技報アーカイブへのリンク:ED2013-14
抄録 (和) 我々はtris(dimethylamino)silane(TDMAS)とプラズマ励起水蒸気を用いたシリコン酸化膜の室温原子層堆積法を開発した。プラズマ励起水蒸気は酸化シリコン表面に吸着したTDMASを効果的に酸化すると同時にTDMASの吸着サイトとなるOH基を室温で成長表面上に形成する。本方法では、シリコン酸化膜の成長速度は室温において0.075nm/cycleと測定された。本研究ではシリコン酸化膜の原子層堆積法をフレキシブル・ソフトマテリアルへのシリカコート技術として適用し、アクリルやポリスチレン、ポリエチレンテレフタレート、木材上にも酸化シリコンが形成できることを確認した。またシリカコートを行ったフレキシブル材料がアセトンなどの有機溶媒に対して、耐薬品性を持つことを確認したので報告する。 
(英) (Available after conference date)
キーワード (和) シリカコーティング / / / / / / /  
(英) ALD / TDMAS / Plasma-excited H2O / / / / /  
文献情報 信学技報, vol. 113, no. 9, ED2013-14, pp. 55-57, 2013年4月.
資料番号 ED2013-14 
発行日 2013-04-11 (ED) 
ISSN Print edition: ISSN 0913-5685  Online edition: ISSN 2432-6380
著作権に
ついて
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034)
PDFダウンロード ED2013-14 エレソ技報アーカイブへのリンク:ED2013-14

研究会情報
研究会 ED  
開催期間 2013-04-18 - 2013-04-19 
開催地(和) 東北大学電通研 片平北キャンパス ナノ・スピン総合研究棟4階 カンファレンスルーム 
開催地(英)  
テーマ(和) 有機デバイス・酸化物デバイス・一般 
テーマ(英) Organic Devices, Oxide Devices, and others 
講演論文情報の詳細
申込み研究会 ED 
会議コード 2013-04-ED 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) フレキシブル・ソフトマテリアル上の室温シリカコーティング 
サブタイトル(和)  
タイトル(英) Investigation of room temperature silica coating for flexible and soft materials 
サブタイトル(英)  
キーワード(1)(和/英) シリカコーティング / ALD  
キーワード(2)(和/英) / TDMAS  
キーワード(3)(和/英) / Plasma-excited H2O  
キーワード(4)(和/英) /  
キーワード(5)(和/英) /  
キーワード(6)(和/英) /  
キーワード(7)(和/英) /  
キーワード(8)(和/英) /  
第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 鹿又 健作 / Kensaku Kanomata / カノマタ ケンサク
第1著者 所属(和/英) 山形大学 (略称: 山形大)
Yamagata University (略称: Yamagata Univ.)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) 鈴木 貴彦 / Takahiko Suzuki / スズキ タカヒコ
第2著者 所属(和/英) 山形大学 (略称: 山形大)
Yamagata University (略称: Yamagata Univ.)
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) 久保田 繁 / Shigeru Kubota / クボタ シゲル
第3著者 所属(和/英) 山形大学 (略称: 山形大)
Yamagata University (略称: Yamagata Univ.)
第4著者 氏名(和/英/ヨミ) 廣瀬 文彦 / Fumihiko Hirose / ヒロセ フミヒコ
第4著者 所属(和/英) 山形大学 (略称: 山形大)
Yamagata University (略称: Yamagata Univ.)
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講演者 第1著者 
発表日時 2013-04-19 11:10:00 
発表時間 25分 
申込先研究会 ED 
資料番号 ED2013-14 
巻番号(vol) vol.113 
号番号(no) no.9 
ページ範囲 pp.55-57 
ページ数
発行日 2013-04-11 (ED) 


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