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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2013-06-21 11:25 直接貼付InPテンプレートを用いた異種基板上MOVPE結晶成長 ○松本恵一・張 きんきん・金谷佳則・下村和彦（上智大）  OPE2013-9 LQE2013-19 |
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| 抄録 | （和） | 大容量高速通信を実現するIII-V族半導体をSiプラットフォーム上に集積することが求められている。本論文では直接貼付法とウェットエッチングを用いてInP/Si基板を作製し，この基板上にMOVPE法によるGaInAs/InP MQW構造の結晶成長を行った．また，SiO2-Si基板とGlass基板でも同様の結晶成長を実現し，Si基板上ではGaInAs/InP MQW構造を層構造とする狭ストライプ選択MOVPE成長を行った．この技術は，Siをはじめとする異種基板上へ多機能なIII-V族半導体光デバイスを高密度に集積することを可能にする． |
| （英） | Integrating III-V materials which enables high-speed computer with large-capacity on Si has been required. Therefore, we have fabricated InP/Si substrate employing wafer direct bonding and wet-etching．Then growth of GaInAs/InP MQW structure has been realized on the substrate using MOVPE．The same work has also been demonstrated on SiO2-Si and Glass substrate．Furthermore, selective MOVPE growth of GaInAs/InP MQW structure has been done on the InP/Si substrate．Our work is of importance in terms of integration of several functional optical devices on heterogeneous substrate． | |
| キーワード | （和） | 光インターコネクト / 直接貼付法 / InPテンプレート / MOVPE / / / / |
| （英） | Optical interconnect / Wafer Direct Bonding / InP template / MOVPE / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 113, no. 99, OPE2013-9, pp. 13-18, 2013年6月. | |
| 資料番号 | OPE2013-9 | |
| 発行日 | 2013-06-14 (OPE, LQE) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | OPE2013-9 LQE2013-19 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | LQE OPE |
| 開催期間 | 2013-06-21 - 2013-06-21 |
| 開催地（和） | 機械振興会館 |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | アクティブデバイスと集積化技術、一般 「材料デバイスサマーミーティング」 |
| テーマ（英） | |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | OPE |
| 会議コード | 2013-06-LQE-OPE |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | 直接貼付InPテンプレートを用いた異種基板上MOVPE結晶成長 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | MOVPE growth realized on heterogeneous substrate employing directly-bonded InP template |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | 光インターコネクト / Optical interconnect |
| キーワード(2)（和/英） | 直接貼付法 / Wafer Direct Bonding |
| キーワード(3)（和/英） | InPテンプレート / InP template |
| キーワード(4)（和/英） | MOVPE / MOVPE |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 松本 恵一 / Keiichi Matsumoto / マツモト ケイイチ |
| 第1著者 所属（和/英） | 上智大学 (略称： 上智大) Sophia University (略称： Sophia Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 張 きんきん / Xinxin Zhang / チョウ キンキン |
| 第2著者 所属（和/英） | 上智大学 (略称： 上智大) Sophia University (略称： Sophia Univ.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 金谷 佳則 / Yoshinori Kanaya / カナヤ ヨシノリ |
| 第3著者 所属（和/英） | 上智大学 (略称： 上智大) Sophia University (略称： Sophia Univ.) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 下村 和彦 / Kazuhiko Shimomura / シモムラ カズヒコ |
| 第4著者 所属（和/英） | 上智大学 (略称： 上智大) Sophia University (略称： Sophia Univ.) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2013-06-21 11:25:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | OPE |
| 資料番号 | OPE2013-9, LQE2013-19 |
| 巻番号（vol） | vol.113 |
| 号番号（no） | no.99(OPE), no.100(LQE) |
| ページ範囲 | pp.13-18 |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2013-06-14 (OPE, LQE) |
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