| 講演抄録/キーワード |
| 講演名 |
2013-08-02 09:25
完全空乏型Silicon-on-Thin-BOX (SOTB) SRAMセルの電源電圧0.4Vにおけるセル電流ばらつき低減 ○水谷朋子(東大)・山本芳樹・槇山秀樹・篠原博文・岩松俊明・尾田秀一・杉井信之(超低電圧デバイス技研組合)・平本俊郎(東大) SDM2013-75 ICD2013-57 |
| 抄録 |
(和) |
65nm技術で作製した完全空乏型Silicon-on-Thin-BOX (SOTB) SRAMセルのセル電流ばらつきを評価し,バルクSRAMセルと比較した.SOTB SRAMセルではバルクSRAMセルと比較してセル電流ばらつきを大幅に抑制できることを実測で示し,その主な原因がVTHばらつきの低減であり,他のパラメータの効果は小さいことを明らかにした. |
| (英) |
Cell current (ICELL) variability in 6T-SRAM composed of silicon-on-thin-BOX (SOTB) MOSFETs by 65nm technology is measured and compared with that of conventional bulk MOSFETs. It is found that ICELL variability in SOTB SRAM is drastically suppressed compared with bulk SRAM especially at low supply voltage (VDD) of 0.4V. It is confirmed that the main origin of suppressed ICELL variability is small VTH variability while small Gm, DIBL, and current-onset voltage (COV) variability has only minor effects. |
| キーワード |
(和) |
ばらつき / セル電流 / FD SOI / / / / / |
| (英) |
Variability / Cell Current / FD SOI / / / / / |
| 文献情報 |
信学技報, vol. 113, no. 172, SDM2013-75, pp. 47-52, 2013年8月. |
| 資料番号 |
SDM2013-75 |
| 発行日 |
2013-07-25 (SDM, ICD) |
| ISSN |
Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 |
著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) |
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