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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2013-08-09 09:00 超高性能デジタルマイクロフォンセンサのためのInP基板へのMEMSマイクロフォン作製プロセス ○藤野舜也・水野雄太・高岡和央・森 雅之・前澤宏一（富山大）  ED2013-44 |
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| 抄録 | （和） | 本論文では, InP基板上におけるMEMSマイクロフォンの製造プロセスについて述べた. このプロセスは, 中空構造を作製するためのフォトレジストのオゾンアッシングに基づいている. このプロセスは損傷がなくHEMTとの集積化に適している． |
| （英） | This paper describes the fabrication process of the MEMS microphones on InP substrates. The process is based on ozone ashing of the photoresist to fabricate a hollow structure. This process was demonstrated to be damage-free, and suitable for integration with HEMTs. | |
| キーワード | （和） | 超音波センサ / ADコンバータ / ΔΣ変調器 / 高電子移動度トランジスタ / コンデンサマイクロフォン / InP / / |
| （英） | ultrasonic sensor / analog-to-digital converter / delta-sigma modulation / high electron mobility transistor / condenser microphone / InP / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 113, no. 176, ED2013-44, pp. 33-36, 2013年8月. | |
| 資料番号 | ED2013-44 | |
| 発行日 | 2013-08-01 (ED) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | ED2013-44 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | ED |
| 開催期間 | 2013-08-08 - 2013-08-09 |
| 開催地（和） | 富山大学工学部 大会議室 |
| 開催地（英） | University of Toyama |
| テーマ（和） | 半導体プロセス・デバイス（表面、界面、信頼性）、一般 |
| テーマ（英） | |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | ED |
| 会議コード | 2013-08-ED |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | 超高性能デジタルマイクロフォンセンサのためのInP基板へのMEMSマイクロフォン作製プロセス |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | MEMS Microphones on InP Substrates for High Performance Digital Ultrasonic Sensors |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | 超音波センサ / ultrasonic sensor |
| キーワード(2)（和/英） | ADコンバータ / analog-to-digital converter |
| キーワード(3)（和/英） | ΔΣ変調器 / delta-sigma modulation |
| キーワード(4)（和/英） | 高電子移動度トランジスタ / high electron mobility transistor |
| キーワード(5)（和/英） | コンデンサマイクロフォン / condenser microphone |
| キーワード(6)（和/英） | InP / InP |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 藤野 舜也 / Shunya Fujino / フジノ シュンヤ |
| 第1著者 所属（和/英） | 富山大学 (略称： 富山大) University of Toyama (略称： Univ. of Toyama) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 水野 雄太 / Yuta Mizuno / ミズノ ユウタ |
| 第2著者 所属（和/英） | 富山大学 (略称： 富山大) University of Toyama (略称： Univ. of Toyama) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 高岡 和央 / Kazuhiro Takaoka / タカオカ カズヒロ |
| 第3著者 所属（和/英） | 富山大学 (略称： 富山大) University of Toyama (略称： Univ. of Toyama) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 森 雅之 / Masayuki Mori / モリ マサユキ |
| 第4著者 所属（和/英） | 富山大学 (略称： 富山大) University of Toyama (略称： Univ. of Toyama) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | 前澤 宏一 / Koichi Maezawa / マエザワ コウイチ |
| 第5著者 所属（和/英） | 富山大学 (略称： 富山大) University of Toyama (略称： Univ. of Toyama) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2013-08-09 09:00:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | ED |
| 資料番号 | ED2013-44 |
| 巻番号（vol） | vol.113 |
| 号番号（no） | no.176 |
| ページ範囲 | pp.33-36 |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | 2013-08-01 (ED) |
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