| 講演抄録/キーワード |
| 講演名 |
2013-10-09 16:15
モード結合理論を用いたパッシブ弾性表面波センサの解析 ○元治拓磨・近藤 淳(静岡大) US2013-52 |
| 抄録 |
(和) |
圧電結晶を用いた弾性表面波(surface acoustic wave: SAW)素子は,携帯電話などの高周波信号処理用素子以外にもセンサやアクチュエータとして応用されている.近年,信号入力用のIDTと反射器から構成されるSAW素子とインピーダンスが変化する既存の物理量センサを組合せることで実現できる受動的なSAWセンサ(パッシブSAWセンサ)が注目されている.このセンサは,低コスト,低消費電力,無給電で物理量を計測することができる.そのため,パッシブSAWセンサはメンテナンスフリーのセンサとなる.このパッシブSAWセンサの理論的モデルはまだ構築されておらず,実験的にしか評価されていない.本報では,モード結合理論(coupling of modes theory)を用いて,パッシブSAWセンサのモデリングを行った.またこのモデリング手法を用いて,新たなID SAW デバイスを提案した. |
| (英) |
Surface acoustic wave (SAW) devices using a piezoelectric clystal have been applied to not only filters but also sensors or actuators. Recently, a passive SAW sensor which is combination of a SAW device and classical sensor has been studied. The sensor enables us to detect physical quantity without power supply. Then, it is not necessary to maintain it. Theoretical models for passive SAW sensors have not constructed yet and experimentations have been preceded. In this paper, we present the modeling for passive SAW sensors using coupling of modes (COM) theory. Then, we propose a novel identification method of SAW device using passive SAW sensors. |
| キーワード |
(和) |
弾性表面波 / インピーダンス変化型センサ / パッシブSAWセンサ / モード結合理論 / / / / |
| (英) |
SAW / Classical sensor / Passive SAW sensor / Coupling of modes theory / / / / |
| 文献情報 |
信学技報, vol. 113, no. 238, US2013-52, pp. 25-30, 2013年10月. |
| 資料番号 |
US2013-52 |
| 発行日 |
2013-10-02 (US) |
| ISSN |
Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 |
著作権に ついて |
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US2013-52 |