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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2013-10-18 13:30 ECRスパッタカーボン薄膜の電気的・機械的特性の基板種別依存性 ○内山田博三・大石竜生・森 龍斗・高橋大紀・大石健太郎・梅村 茂（千葉工大）・廣野 滋（MESアフティー）・鎌田智之・丹羽 修（産総研）  EMD2013-70 |
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| 抄録 | （和） | (まだ登録されていません) |
| （英） | (Not available yet) | |
| キーワード | （和） | / / / / / / / |
| （英） | / / / / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 113, no. 251, EMD2013-70, pp. 1-4, 2013年10月. | |
| 資料番号 | EMD2013-70 | |
| 発行日 | 2013-10-11 (EMD) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | EMD2013-70 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | EMD |
| 開催期間 | 2013-10-18 - 2013-10-18 |
| 開催地（和） | NTT厚木研究開発センタ |
| 開催地（英） | NTT Atsugi Research and Development Center |
| テーマ（和） | トライポロジ及び一般（共催：日本トライポロジー学会固体潤滑研究会、継電器・コンタクトテクノロジー研究会） |
| テーマ（英） | |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | EMD |
| 会議コード | 2013-10-EMD |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | ECRスパッタカーボン薄膜の電気的・機械的特性の基板種別依存性 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Electrical and Mechanical Characteristics of ECR-Sputtered Carbon Thin Films Deposited on Various Silicon Substrates |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | / |
| キーワード(2)（和/英） | / |
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| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 内山田 博三 / Hiromi Uchiyamada / ウチヤマダ ヒロミ |
| 第1著者 所属（和/英） | 千葉工業大学 (略称： 千葉工大) Chiba Institute of Technology (略称： Chiba Inst. of Tech.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 大石 竜生 / Tatsuo Ooisi / オオイシ タツオ |
| 第2著者 所属（和/英） | 千葉工業大学 (略称： 千葉工大) Chiba Institute of Technology (略称： Chiba Inst. of Tech.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 森 龍斗 / Ryuto Mori / モリ リュウト |
| 第3著者 所属（和/英） | 千葉工業大学 (略称： 千葉工大) Chiba Institute of Technology (略称： Chiba Inst. of Tech.) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 高橋 大紀 / Daiki Takahasi / タカハシ ダイキ |
| 第4著者 所属（和/英） | 千葉工業大学 (略称： 千葉工大) Chiba Institute of Technology (略称： Chiba Inst. of Tech.) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | 大石 健太郎 / Kentaro Ooisi / オオイシ ケンタロウ |
| 第5著者 所属（和/英） | 千葉工業大学 (略称： 千葉工大) Chiba Institute of Technology (略称： Chiba Inst. of Tech.) |
| 第6著者 氏名（和/英/ヨミ） | 梅村 茂 / Shigeru Umemura / ウメムラ シゲル |
| 第6著者 所属（和/英） | 千葉工業大学 (略称： 千葉工大) Chiba Institute of Technology (略称： Chiba Inst. of Tech.) |
| 第7著者 氏名（和/英/ヨミ） | 廣野 滋 / Shigeru Hirono / ヒロノ シゲル |
| 第7著者 所属（和/英） | MESアフティー株式会社 (略称： MESアフティー) MES AFTY (略称： MES AFTY) |
| 第8著者 氏名（和/英/ヨミ） | 鎌田 智之 / Tomoyuki Kamata / カマタ トモユキ |
| 第8著者 所属（和/英） | 産業技術総合研究所 (略称： 産総研) Advanced Industrial Science and Technology (略称： AIST) |
| 第9著者 氏名（和/英/ヨミ） | 丹羽 修 / Osamu Niwa / ニワ オサム |
| 第9著者 所属（和/英） | 産業技術総合研究所 (略称： 産総研) Advanced Industrial Science and Technology (略称： AIST) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2013-10-18 13:30:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | EMD |
| 資料番号 | EMD2013-70 |
| 巻番号（vol） | vol.113 |
| 号番号（no） | no.251 |
| ページ範囲 | pp.1-4 |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | 2013-10-11 (EMD) |
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