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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2013-10-18 13:30 プラズマチャージングダメージがMOSFETのRandom Telegraph Noise特性に及ぼす影響 亀井政幸・中久保義則・鷹尾祥典・○江利口浩二・斧 高一（京大）  SDM2013-97 |
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| 抄録 | （和） | (まだ登録されていません) |
| （英） | (Not available yet) | |
| キーワード | （和） | / / / / / / / |
| （英） | / / / / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 113, no. 247, SDM2013-97, pp. 47-50, 2013年10月. | |
| 資料番号 | SDM2013-97 | |
| 発行日 | 2013-10-10 (SDM) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | SDM2013-97 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | SDM |
| 開催期間 | 2013-10-17 - 2013-10-18 |
| 開催地（和） | 東北大学未来研 |
| 開催地（英） | Niche, Tohoku Univ. |
| テーマ（和） | プロセス科学と新プロセス技術 |
| テーマ（英） | Process Science and New Process Technology |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | SDM |
| 会議コード | 2013-10-SDM |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | プラズマチャージングダメージがMOSFETのRandom Telegraph Noise特性に及ぼす影響 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Effects of plasma-induced charging damage on random telegraph noise (RTN) behaviors in advanced MOSFETs |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | / |
| キーワード(2)（和/英） | / |
| キーワード(3)（和/英） | / |
| キーワード(4)（和/英） | / |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 亀井 政幸 / Masayuki Kamei / カメイ マサユキ |
| 第1著者 所属（和/英） | 京都大学 (略称： 京大) Kyoto University (略称： Kyoto Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 中久保 義則 / Yoshinori Nakakubo / ナカクボ ヨシノリ |
| 第2著者 所属（和/英） | 京都大学 (略称： 京大) Kyoto University (略称： Kyoto Univ.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 鷹尾 祥典 / Yoshinori Takao / タカオ ヨシノリ |
| 第3著者 所属（和/英） | 京都大学 (略称： 京大) Kyoto University (略称： Kyoto Univ.) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 江利口 浩二 / Koji Eriguchi / エリグチ コウジ |
| 第4著者 所属（和/英） | 京都大学 (略称： 京大) Kyoto University (略称： Kyoto Univ.) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | 斧 高一 / Kouichi Ono / オノ コウイチ |
| 第5著者 所属（和/英） | 京都大学 (略称： 京大) Kyoto University (略称： Kyoto Univ.) |
| 講演者 | 第4著者 |
| 発表日時 | 2013-10-18 13:30:00 |
| 発表時間 | 30分 |
| 申込先研究会 | SDM |
| 資料番号 | SDM2013-97 |
| 巻番号（vol） | vol.113 |
| 号番号（no） | no.247 |
| ページ範囲 | pp.47-50 |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | 2013-10-10 (SDM) |
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