| 講演抄録/キーワード |
| 講演名 |
2013-12-13 13:10
[奨励講演]オンチップ光配線に向けた半導体薄膜レーザの低しきい値動作への進展 ○進藤隆彦・二見充輝・土居恭平・平谷拓生・雨宮智宏・西山伸彦・荒井滋久(東工大) LQE2013-130 |
| 抄録 |
(和) |
LSI内のグローバル配線層の代替として、我々はこれまで半導体薄膜構造を用いたオンチップ光集積回路を提案してきた。オンチップ光配線用光源として期待される半導体薄膜(membrane)レーザは、高屈折率差による強い光閉じ込め効果により高いモード利得が得られることから極低しきい値での動作が可能となる。本稿では、オンチップ光配線用光源としての半導体薄膜レーザの理論解析を行い、コア層厚150 nmの薄膜構造の導入によってオンチップ光配線の要求特性を総合的に満たすことを示した。さらに、横方向電流注入構造を導入した半導体薄膜レーザにおいて、しきい電流値3.5 mAの低しきい値動作を達成した。 |
| (英) |
As a substitute for the global wiring on the large scale integrated (LSI) circuits, we have proposed the membrane based on-chip optical integrated circuits. As a promising candidate for the light source of the on-chip optical interconnection, a semiconductor membrane laser, which consists of a high-index contrast waveguide, is expected to operate with ultra-low threshold current due to an enhanced modal gain. In this paper, we investigated the theoretical analysis of the membrane laser for on-chip optical interconnection. As a result, it was found that the membrane laser can totally meet the requirements for on-chip optical interconnection by adopting a core layer thickness of 150 nm. Furthermore, a low threshold current of 3.5 mA was achieved by introducing the lateral current injection structure to the membrane laser. |
| キーワード |
(和) |
半導体薄膜レーザ / 横方向電流注入 / 強光閉じ込め / 表面回折格子 / / / / |
| (英) |
Semiconductor membrane laser / Lateral current injection / Strong optical confinement / Surface grating / / / / |
| 文献情報 |
信学技報, vol. 113, no. 352, LQE2013-130, pp. 27-32, 2013年12月. |
| 資料番号 |
LQE2013-130 |
| 発行日 |
2013-12-06 (LQE) |
| ISSN |
Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 |
著作権に ついて |
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LQE2013-130 |