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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2013-12-13 10:00 液体ガラスを用いた量子井戸混晶化とその面発光レーザ応用に関する研究 ○阿久津友宏・牛尾拓也・菊池麻子・松谷晃宏・宮本智之（東工大）  LQE2013-126 |
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| 抄録 | （和） | 液体ガラス(SOG)を用いた量子構造混晶化を面発光レーザに適用し，活性層内のキャリア閉じ込めを行った．ノンドープSOGを用いた混晶化は巨大なエネルギーシフトが可能であり，メサ側面に容易に膜形成することができる．プロセスは従来工程に膜形成および加熱をするだけという簡単なものである．その結果30μm径および15μm径の面発光レーザで発振に成功した．この手法により，微小構造の面発光レーザにおいて更なる特性改善が見込まれる． |
| （英） | The applicability of the quantum well intermixing using a spin-on-glass (SOG) to the fabrication process of a vertical cavity surface emitting laser (VCSEL) was investigated to control the carrier confinement in the active layer. The intermixing by using the non-doped SOG showed a large emission energy shift. The SOG coating of the mesa side-wall of the VCSEL and following heat-treatment are simple processes that can add to the conventional one. The fabricated VCSELs with a 30 μm-square mesa and 15μm-diameter mesa showed lasing operation, and therefore the technique can be applicable as the VCSEL process for improving the performance of the small mesa devices. | |
| キーワード | （和） | 面発光レーザ / 量子構造混晶化 / 液体ガラス / / / / / |
| （英） | VCSEL / Quantum Well Intermixing / Spin-on-Glass / / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 113, no. 352, LQE2013-126, pp. 7-10, 2013年12月. | |
| 資料番号 | LQE2013-126 | |
| 発行日 | 2013-12-06 (LQE) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | LQE2013-126 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | LQE |
| 開催期間 | 2013-12-13 - 2013-12-13 |
| 開催地（和） | 機械振興会館 |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | 半導体レーザ関連技術,及び一般 |
| テーマ（英） | |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | LQE |
| 会議コード | 2013-12-LQE |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | 液体ガラスを用いた量子井戸混晶化とその面発光レーザ応用に関する研究 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Quantum well intermixing using spin-on-glass and its application to VCSELs |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | 面発光レーザ / VCSEL |
| キーワード(2)（和/英） | 量子構造混晶化 / Quantum Well Intermixing |
| キーワード(3)（和/英） | 液体ガラス / Spin-on-Glass |
| キーワード(4)（和/英） | / |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 阿久津 友宏 / Tomohiro Akutsu / アクツ トモヒロ |
| 第1著者 所属（和/英） | 東京工業大学 (略称： 東工大) Tokyo Institute of Technology (略称： Tokyo Inst. of Tech.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 牛尾 拓也 / Takuya Ushio / ウシオ タクヤ |
| 第2著者 所属（和/英） | 東京工業大学 (略称： 東工大) Tokyo Institute of Technology (略称： Tokyo Inst. of Tech.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 菊池 麻子 / Asako Kikuchi / キクチ アサコ |
| 第3著者 所属（和/英） | 東京工業大学 (略称： 東工大) Tokyo Institute of Technology (略称： Tokyo Inst. of Tech.) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 松谷 晃宏 / Akihiro Matsutani / マツタニ アキヒロ |
| 第4著者 所属（和/英） | 東京工業大学 (略称： 東工大) Tokyo Institute of Technology (略称： Tokyo Inst. of Tech.) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | 宮本 智之 / Tomoyuki Miyamoto / ミヤモト トモユキ |
| 第5著者 所属（和/英） | 東京工業大学 (略称： 東工大) Tokyo Institute of Technology (略称： Tokyo Inst. of Tech.) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2013-12-13 10:00:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | LQE |
| 資料番号 | LQE2013-126 |
| 巻番号（vol） | vol.113 |
| 号番号（no） | no.352 |
| ページ範囲 | pp.7-10 |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | 2013-12-06 (LQE) |
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