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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2014-01-24 09:25 プロトンビーム描画による導波路型光スイッチの試作 ○三浦健太（群馬大）・佐藤隆博・石井保行・江夏昌志・横山彰人・神谷富裕（原子力機構）・平谷雄二（広島国際大）・桐生弘武・小澤優介・加田 渉・花泉 修（群馬大）  PN2013-85 OPE2013-199 LQE2013-185 EST2013-134 MWP2013-105 |
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| 抄録 | （和） | 量子ビーム技術を利用したプロトンビーム描画(Proton Beam Writing: PBW)は，次世代微細加工技術として期待されているが，プロトン照射によるポリマー材料の屈折率向上効果を応用した光導波路直接描画技術としても有望である．我々は，このPBW技術を利用してマッハツェンダー導波路型熱光学スイッチの試作を行い，スイッチング動作を確認したので報告する． |
| （英） | (Not available yet) | |
| キーワード | （和） | プロトンビーム描画 / PMMA / マッハツェンダー形導波路 / 光スイッチ / / / / |
| （英） | Proton Beam Writing / PMMA / Mach-Zehnder Waveguide / Optical Switch / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 113, no. 394, OPE2013-199, pp. 317-320, 2014年1月. | |
| 資料番号 | OPE2013-199 | |
| 発行日 | 2014-01-16 (PN, OPE, LQE, EST, MWP) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | PN2013-85 OPE2013-199 LQE2013-185 EST2013-134 MWP2013-105 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | MWP EMT PN LQE OPE EST IEE-EMT |
| 開催期間 | 2014-01-23 - 2014-01-24 |
| 開催地（和） | 同志社大学（烏丸キャンパス） |
| 開催地（英） | Doshisha University |
| テーマ（和） | 光-無線融合NW、新周波数（波長）帯デバイス、フォトニックNW・デバイス、フォトニック結晶、ファイバとその応用、光集積回路、光導波路素子、光スイッチング、導波路解析、一般 |
| テーマ（英） | |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | OPE |
| 会議コード | 2014-01-MWP-EMT-PN-LQE-OPE-EST-EMT |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | プロトンビーム描画による導波路型光スイッチの試作 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Fabrication of Mach-Zehnder type thermo-optic switch using proton beam writing |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | プロトンビーム描画 / Proton Beam Writing |
| キーワード(2)（和/英） | PMMA / PMMA |
| キーワード(3)（和/英） | マッハツェンダー形導波路 / Mach-Zehnder Waveguide |
| キーワード(4)（和/英） | 光スイッチ / Optical Switch |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 三浦 健太 / Kenta Miura / ミウラ ケンタ |
| 第1著者 所属（和/英） | 群馬大学 (略称： 群馬大) Gunma University (略称： Gunma Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 佐藤 隆博 / Takahiro Satoh / |
| 第2著者 所属（和/英） | 日本原子力研究開発機構 (略称： 原子力機構) Japan Atomic Energy Agency (略称： JAEA) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 石井 保行 / Yasuyuki Ishii / |
| 第3著者 所属（和/英） | 日本原子力研究開発機構 (略称： 原子力機構) Japan Atomic Energy Agency (略称： JAEA) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 江夏 昌志 / Masashi Koka / |
| 第4著者 所属（和/英） | 日本原子力研究開発機構 (略称： 原子力機構) Japan Atomic Energy Agency (略称： JAEA) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | 横山 彰人 / Akihito Yokoyama / |
| 第5著者 所属（和/英） | 日本原子力研究開発機構 (略称： 原子力機構) Japan Atomic Energy Agency (略称： JAEA) |
| 第6著者 氏名（和/英/ヨミ） | 神谷 富裕 / Tomihiro Kamiya / |
| 第6著者 所属（和/英） | 日本原子力研究開発機構 (略称： 原子力機構) Japan Atomic Energy Agency (略称： JAEA) |
| 第7著者 氏名（和/英/ヨミ） | 平谷 雄二 / Yuji Hiratani / |
| 第7著者 所属（和/英） | 広島国際大学 (略称： 広島国際大) Hiroshima International University (略称： Hiroshima International Univ.) |
| 第8著者 氏名（和/英/ヨミ） | 桐生 弘武 / Hiromu Kiryu / |
| 第8著者 所属（和/英） | 群馬大学 (略称： 群馬大) Gunma University (略称： Gunma Univ.) |
| 第9著者 氏名（和/英/ヨミ） | 小澤 優介 / Yusuke Ozawa / |
| 第9著者 所属（和/英） | 群馬大学 (略称： 群馬大) Gunma University (略称： Gunma Univ.) |
| 第10著者 氏名（和/英/ヨミ） | 加田 渉 / Wataru Kada / |
| 第10著者 所属（和/英） | 群馬大学 (略称： 群馬大) Gunma University (略称： Gunma Univ.) |
| 第11著者 氏名（和/英/ヨミ） | 花泉 修 / Osamu Hanaizumi / |
| 第11著者 所属（和/英） | 群馬大学 (略称： 群馬大) Gunma University (略称： Gunma Univ.) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2014-01-24 09:25:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | OPE |
| 資料番号 | PN2013-85, OPE2013-199, LQE2013-185, EST2013-134, MWP2013-105 |
| 巻番号（vol） | vol.113 |
| 号番号（no） | no.393(PN), no.394(OPE), no.395(LQE), no.396(EST), no.397(MWP) |
| ページ範囲 | pp.317-320 |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | 2014-01-16 (PN, OPE, LQE, EST, MWP) |
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