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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2014-01-28 15:00 ［ポスター講演］ワイヤーボンディング技術を用いた空間配列型微小電極プローブの開発 ○殿村 渉・小西 聡（立命館大）  ICD2013-118 |
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| 抄録 | （和） | 半導体チップの実装過程に汎用的に用いられるワイヤーボンディング技術とMEMS技術との高い整合性を利用して実現した空間配列型の3次元電極について発表する。段差構造にワイヤーボンディングした金属ワイヤーのブリッジ構造をレーザー加工により切断することで実現する本電極は、段差やレーザー加工位置を制御することで所望の3次元座標位置に製作できる特徴を備えている。本電極のバイオ分野への応用例として、3次元細胞組織内部における細胞電気シグナル活動計測についても併せて発表する。 |
| （英） | This paper presents spatially arranged microelectrodes using a combination of wire bonding and laser machining. The wire-bonding-based probe technology makes it possible to provide 3D microelectrode arrays. Bonded metal wires are converted to microprobe arrays by cutting the bridge using laser machining. Out-of-plane microelectrodes standing on a substrate have gradation in height. Our group demonstrated that electrophysiological activities inside 3D cell tissue could be successfully recorded using the spatially arranged microelectrodes. | |
| キーワード | （和） | 3次元電極アレイ / ワイヤーボンディング技術 / 空間配列型微小電極 / MEMS技術 / / / / |
| （英） | 3D electrode arrays / Wire bonding technology / Spatially arranged microelectrodes / MEMS technology / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 113, no. 419, ICD2013-118, pp. 45-45, 2014年1月. | |
| 資料番号 | ICD2013-118 | |
| 発行日 | 2014-01-21 (ICD) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | ICD2013-118 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | ICD |
| 開催期間 | 2014-01-28 - 2014-01-29 |
| 開催地（和） | 京都大学時計台記念館 |
| 開催地（英） | Kyoto Univ. Tokeidai Kinenkan |
| テーマ（和） | 学生・若手研究会 |
| テーマ（英） | |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | ICD |
| 会議コード | 2014-01-ICD |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | ワイヤーボンディング技術を用いた空間配列型微小電極プローブの開発 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Spatially Arranged Microelectrode Probes using Wire Bonding Technology |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | 3次元電極アレイ / 3D electrode arrays |
| キーワード(2)（和/英） | ワイヤーボンディング技術 / Wire bonding technology |
| キーワード(3)（和/英） | 空間配列型微小電極 / Spatially arranged microelectrodes |
| キーワード(4)（和/英） | MEMS技術 / MEMS technology |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 殿村 渉 / Wataru Tonomura / トノムラ ワタル |
| 第1著者 所属（和/英） | 立命館大学 (略称： 立命館大) Ritsumeikan University (略称： Ritsumeikan Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 小西 聡 / Satoshi Konishi / コニシ サトシ |
| 第2著者 所属（和/英） | 立命館大学 (略称： 立命館大) Ritsumeikan University (略称： Ritsumeikan Univ.) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2014-01-28 15:00:00 |
| 発表時間 | 120分 |
| 申込先研究会 | ICD |
| 資料番号 | ICD2013-118 |
| 巻番号（vol） | vol.113 |
| 号番号（no） | no.419 |
| ページ範囲 | p.45 |
| ページ数 | 1 |
| 発行日 | 2014-01-21 (ICD) |
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