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| 講演名 | 2014-04-18 10:15 室温原子層堆積法を用いたHfO2-MOSの試作と評価 ○大場尚志・鹿又健作・有馬 ボシール アハンマド・久保田 繁・廣瀬文彦（山形大）  ED2014-14 |
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| 抄録 | （和） | ゲート絶縁膜として高誘電率材料であるHfO2が有効であり、これを利用した高性能MOSの製造技術を獲得することを目的とする。室温原子層堆積法を用いて、Si(100)基板上へHfO2膜の堆積を試み、堆積した膜をXPS及び分光エリプソメーターにより評価した。室温原子層堆積法では、原料ガスとしてtetrakis-ethylmethylaminohafnium(TEMAH)、酸化剤としてプラズマ励起した水を使用した。XPS測定より膜中には、不純物であるC、Nが混入していることを確認した。そのため、熱処理を行い不純物の低減ができるか調査を行った。また、未処理と熱処理後のHfO2膜を使用したMOSキャパシタを試作し、それぞれのMOSキャパシタの電気的特性の評価を行うために、C-V及びI-V測定を行った。本研究は、室温原子層堆積法で製作したHfO2膜の構造及び電気的特性の評価についてまとめたものである。 |
| （英） | (Not available yet) | |
| キーワード | （和） | 原子層堆積法 / HfO2 / MOS / / / / / |
| （英） | / / / / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 114, no. 12, ED2014-14, pp. 55-58, 2014年4月. | |
| 資料番号 | ED2014-14 | |
| 発行日 | 2014-04-10 (ED) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | ED2014-14 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | ED |
| 開催期間 | 2014-04-17 - 2014-04-18 |
| 開催地（和） | 山形大学工学部百周年記念会館 |
| 開催地（英） | The 100th Anniversary Hall, Yamagata University |
| テーマ（和） | 有機デバイス・酸化物デバイス・一般 |
| テーマ（英） | Organic Devices, Oxide Devices, and others |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | ED |
| 会議コード | 2014-04-ED |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | 室温原子層堆積法を用いたHfO2-MOSの試作と評価 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Test fabrication of HfO2-MOS capacitors using room temperature atomic layer deposition |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | 原子層堆積法 / |
| キーワード(2)（和/英） | HfO2 / |
| キーワード(3)（和/英） | MOS / |
| キーワード(4)（和/英） | / |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 大場 尚志 / Hisashi Ohba / オオバ ヒサシ |
| 第1著者 所属（和/英） | 山形大学 (略称： 山形大) Yamagata Universty (略称： Yamagata Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 鹿又 健作 / Kensaku Kanomata / カノマタ ケンサク |
| 第2著者 所属（和/英） | 山形大学 (略称： 山形大) Yamagata Universty (略称： Yamagata Univ.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 有馬 ボシール アハンマド / Bashil Ahmmad Arima / アリマ ボシール アハンマド |
| 第3著者 所属（和/英） | 山形大学 (略称： 山形大) Yamagata Universty (略称： Yamagata Univ.) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 久保田 繁 / Shigeru Kubota / クボタ シゲル |
| 第4著者 所属（和/英） | 山形大学 (略称： 山形大) Yamagata Universty (略称： Yamagata Univ.) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | 廣瀬 文彦 / Fumihiko Hirose / ヒロセ フミヒコ |
| 第5著者 所属（和/英） | 山形大学 (略称： 山形大) Yamagata Universty (略称： Yamagata Univ.) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2014-04-18 10:15:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | ED |
| 資料番号 | ED2014-14 |
| 巻番号（vol） | vol.114 |
| 号番号（no） | no.12 |
| ページ範囲 | pp.55-58 |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | 2014-04-10 (ED) |
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