講演抄録/キーワード |
講演名 |
2014-06-20 09:20
フレキシブル透明TFTに向けた低温プロセスZnO薄膜の結晶性評価 ○渡邉 拓・モハマッ カーフィ アディー ビン・山内 博・國吉繁一・飯塚正明・酒井正俊・工藤一浩(千葉大) EMD2014-9 CPM2014-29 OME2014-17 エレソ技報アーカイブへのリンク:EMD2014-9 CPM2014-29 OME2014-17 |
抄録 |
(和) |
印刷法によるフレキシブルディスプレイの実現に向けて、透明な塗布型ZnO-FET上に有機発光層を積層した構造を提案した。横型のZnO-FETを作製しUV/O3アシストにより低温領域内で電流値の向上が見られ低プロセス温度化を実現した。この要因をX線回折評価法で調べたところ、ZnOは低温領域では結晶化しておらず、上記の電流値の向上はUV/O3アシストによる薄膜内に存在する有機系不純物除去量の増加が主な原因として挙げられる。 |
(英) |
We proposed a new flexible organic light emitting transistor (OLET) that had an OLED directly on transparent FETs fabricated on a plastic substrate. In this study, the effects of UV/O3 and thermal treatment on wet processed ZnO-FET characteristics were investigated. Realizing a low-process temperature of ZnO-FET was successful in terms of the mobility and current. We evaluated the crystallinity of ZnO films by X-ray diffraction and found it non-crystalline form in the range of the low-process temperature less than 300 degree C. These results indicate that UV/O3 treatment mainly leads to such as a decrease of organic impurities in ZnO thin films and improve carrier transportation. |
キーワード |
(和) |
塗布型ZnO / 透明ZnOトランジスタ / UV/O3アシスト熱処理法 / ZnO結晶性評価 / / / / |
(英) |
wet process / transparent ZnO-TFT / UV/O3 assisted thermal treatment / crystalline evaluation / / / / |
文献情報 |
信学技報, vol. 114, no. 96, OME2014-17, pp. 5-9, 2014年6月. |
資料番号 |
OME2014-17 |
発行日 |
2014-06-13 (EMD, CPM, OME) |
ISSN |
Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 |
著作権に ついて |
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