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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2014-10-15 13:40 3次元構造超伝導トンネル接合の作製 ○藤井 剛・浮辺雅宏・志岐成友・大久保雅隆（産総研）  SCE2014-35 |
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| 抄録 | （和） | 我々が開発しているX線吸収微細構造分析装置の検出感度の向上には、使用するNb/Al超伝導トンネル接合(STJ)アレイ検出器の有感面積の拡大が有効である。アレイを構成する各STJ素子の面積拡大は、エネルギー分解能の劣化を招くため、有感面積の拡大はアレイ数の増大により実現する必要がある。そのため、有感面積を現行の10倍以上にするためには、アレイ数を現在の100から1000以上にする必要である。今回我々は、配線をSTJ素子下部に配置することにより、１つのSTJ素子に必要な面積を削減、現在の100アレイ素子と同程度の面積内に、最大4000個STJ素子を集積できる3次元構造を持つSTJアレイ素子を作製した。作製したアレイの中で最良のSTJでは、0.40 mVでのリーク電流は2 nAであり、X線検出器として十分な特性を実現した。 |
| （英） | In order to achieve a high throughput analysis of X-ray absorption fine structure (XAFS) with superconducting tunnel junction (STJ) array detectors, the pixel number of the array detectors should be further increased up to more than 1000 to enlarge the sensitive area. In this work, we have fabricated the STJ with three-dimensional structure by embedding a wiring layer in a SiO2 isolation layer underneath a base electrode of STJs. The fabricated STJ showed excellent current-voltage characteristics having low subgap currents less than 2 nA. | |
| キーワード | （和） | 超伝導トンネル接合 / 軟X線検出器 / 3次元構造 / X線吸収微細構造分析 / Nb/Al / / / |
| （英） | Superconducting tunnel junction / Soft X-ray detector / Three-dimensional structure / X-ray absorption fine structure / Nb/Al / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 114, no. 247, SCE2014-35, pp. 7-10, 2014年10月. | |
| 資料番号 | SCE2014-35 | |
| 発行日 | 2014-10-08 (SCE) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | SCE2014-35 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | SCE |
| 開催期間 | 2014-10-15 - 2014-10-16 |
| 開催地（和） | 東北大学・電気通信研究所 |
| 開催地（英） | Tohoku University, RIEC |
| テーマ（和） | 超伝導センシング基盤技術及びその応用、一般 |
| テーマ（英） | Superconducting sensing technologies and their applications, etc. |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | SCE |
| 会議コード | 2014-10-SCE |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | 3次元構造超伝導トンネル接合の作製 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Fabrication of three-dimensional superconducting tunnel junctions |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | 超伝導トンネル接合 / Superconducting tunnel junction |
| キーワード(2)（和/英） | 軟X線検出器 / Soft X-ray detector |
| キーワード(3)（和/英） | 3次元構造 / Three-dimensional structure |
| キーワード(4)（和/英） | X線吸収微細構造分析 / X-ray absorption fine structure |
| キーワード(5)（和/英） | Nb/Al / Nb/Al |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 藤井 剛 / Go Fujii / フジイ ゴウ |
| 第1著者 所属（和/英） | 産業技術総合研究所 (略称： 産総研) National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (略称： AIST) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 浮辺 雅宏 / Masahiro Ukibe / ウキベ マサヒロ |
| 第2著者 所属（和/英） | 産業技術総合研究所 (略称： 産総研) National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (略称： AIST) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 志岐 成友 / Shigetomo Shiki / シキ シゲトモ |
| 第3著者 所属（和/英） | 産業技術総合研究所 (略称： 産総研) National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (略称： AIST) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 大久保 雅隆 / Masataka Ohkubo / オオクボ マサタカ |
| 第4著者 所属（和/英） | 産業技術総合研究所 (略称： 産総研) National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (略称： AIST) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2014-10-15 13:40:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | SCE |
| 資料番号 | SCE2014-35 |
| 巻番号（vol） | vol.114 |
| 号番号（no） | no.247 |
| ページ範囲 | pp.7-10 |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | 2014-10-08 (SCE) |
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