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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2014-10-15 13:15 大面積接合を用いたNb/AlOx/Nbジョセフソン接合トンネルバリアの欠陥評価 ○日高睦夫・永沢秀一・佐藤哲朗・日野出憲治（産総研）  SCE2014-34 |
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| 抄録 | （和） | 超伝導集積回路のジョセフソン接合（JJ）として用いられるNb/AlOx/Nb接合のほとんど全ての欠陥は、並はずれて大きな臨界電流を持つリークJJである。リークJJ発生原因を分析し、その主要な原因は接合膜下地パーティクルにあるとの仮説を立て、それを証明するための実験を行った。リークJJを効率よく検出するために本実験では20 m角の大面積JJを用いた。実験の結果、下地パーティクル数とリークJJ発生数によい一致が見られたことから、上記仮説は正しいと考えられる。このパーティクルの大きさ、密度はどちらも非常に小さく、通常の顕微鏡観察やプロセスTEGによる評価では発見は極めて困難である。このため、今まで見過ごされてきた欠陥原因である。今後、現状の数万JJより大きな数十万JJあるいは数百万JJ規模の超伝導集積回路を実現するためには、接合膜下地のパーティクル数を減少させることが重要であると考えられる。 |
| （英） | Defects in almost all Nb/AlOx/Nb Josephson junctions (JJ) which are used in superconducting integrated circuits are leak JJs with extraordinarily large critical current. We focused on the origin of the leak JJs as small particles underneath the JJs and experimentally proved it using large area JJs of 20 m square which can detect the leak JJs quite efficiently. The cause of defects has been overlooked to date, because size and density of the particles are too small to detect by microscope observations and evaluations by our process diagnostics structures. In order to implement larger scale superconducting integrated circuits with several tens thousands or several million JJs which are 10 and 100 times larger than current circuits, it is important to develop fabrication process on target to reduce the particles. | |
| キーワード | （和） | ジョセフソン接合 / Nb/Al;Ox/Nb接合 / SFQ回路 / パーティクル / 欠陥 / / / |
| （英） | Josephson junction / Nb/AlOx/Nb junction / SFQ circuit / Particle / Defect / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 114, no. 247, SCE2014-34, pp. 1-6, 2014年10月. | |
| 資料番号 | SCE2014-34 | |
| 発行日 | 2014-10-08 (SCE) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | SCE2014-34 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | SCE |
| 開催期間 | 2014-10-15 - 2014-10-16 |
| 開催地（和） | 東北大学・電気通信研究所 |
| 開催地（英） | Tohoku University, RIEC |
| テーマ（和） | 超伝導センシング基盤技術及びその応用、一般 |
| テーマ（英） | Superconducting sensing technologies and their applications, etc. |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | SCE |
| 会議コード | 2014-10-SCE |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | 大面積接合を用いたNb/AlOx/Nbジョセフソン接合トンネルバリアの欠陥評価 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Evaluation of tunnel barrier defects in Nb/AlOx/Nb Josephson junctions using large area junctions |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | ジョセフソン接合 / Josephson junction |
| キーワード(2)（和/英） | Nb/Al;Ox/Nb接合 / Nb/AlOx/Nb junction |
| キーワード(3)（和/英） | SFQ回路 / SFQ circuit |
| キーワード(4)（和/英） | パーティクル / Particle |
| キーワード(5)（和/英） | 欠陥 / Defect |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 日高 睦夫 / Mutsuo Hidaka / ヒダカ ムツオ |
| 第1著者 所属（和/英） | 産業技術総合研究所 (略称： 産総研) National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (略称： AIST) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 永沢 秀一 / Shuichi Nagasawa / ナガサワ シュウイチ |
| 第2著者 所属（和/英） | 産業技術総合研究所 (略称： 産総研) National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (略称： AIST) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 佐藤 哲朗 / Tetsuro Satoh / サトウ テツロウ |
| 第3著者 所属（和/英） | 産業技術総合研究所 (略称： 産総研) National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (略称： AIST) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 日野出 憲治 / Kenji, Hinode / ヒノデ ケンジ |
| 第4著者 所属（和/英） | 産業技術総合研究所 (略称： 産総研) National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (略称： AIST) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2014-10-15 13:15:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | SCE |
| 資料番号 | SCE2014-34 |
| 巻番号（vol） | vol.114 |
| 号番号（no） | no.247 |
| ページ範囲 | pp.1-6 |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2014-10-08 (SCE) |
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