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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2014-10-17 10:00 ラジカル窒化法により形成したSi3N4/Si界面に形成される組成遷移層に関する研究 ○諏訪智之・寺本章伸・須川成利・大見忠弘（東北大）  SDM2014-89 |
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| 抄録 | （和） | ラジカル窒化により形成したSi3N4/Si界面におけるSi基板側に形成される遷移層の構造を明らかにすることを目的とし、高分解能軟X線角度分解光電子分光法を用いてSi 2p光電子スペクトル測定を行った。Si(100)基板上に形成した窒化膜において、窒化膜側の組成遷移層およびシリコン基板側の組成遷移層の構造を明らかにした。シリコン基板側に形成される遷移層中のβ-Siの量は、ラジカル酸化よりもラジカル窒化の方が多いことが分かった。 |
| （英） | The angle-resolved Si 2p photoelectron spectra arising from the transition layers formed on the Si3N4/Si interface were measured with the probing depth of nearly 2 nm. It was clarified the compositional transition layers formed at Si3N4/Si interface. The chemical structures of transition layers formed on Si substrate side are also discussed. | |
| キーワード | （和） | Si3N4/Si界面 / 光電子分光 / 組成遷移層 / / / / / |
| （英） | Si3N4/Si interface / photoelectron spectroscopy / compositional transition layer / / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 114, no. 255, SDM2014-89, pp. 31-34, 2014年10月. | |
| 資料番号 | SDM2014-89 | |
| 発行日 | 2014-10-09 (SDM) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | SDM2014-89 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | SDM |
| 開催期間 | 2014-10-16 - 2014-10-17 |
| 開催地（和） | 東北大学未来研 |
| 開催地（英） | Niche, Tohoku Univ. |
| テーマ（和） | プロセス科学と新プロセス技術 |
| テーマ（英） | Process Science and New Process Technology |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | SDM |
| 会議コード | 2014-10-SDM |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | ラジカル窒化法により形成したSi3N4/Si界面に形成される組成遷移層に関する研究 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Study on compositional transition layers at Si3N4/Si interface formed by radical nitridation |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | Si3N4/Si界面 / Si3N4/Si interface |
| キーワード(2)（和/英） | 光電子分光 / photoelectron spectroscopy |
| キーワード(3)（和/英） | 組成遷移層 / compositional transition layer |
| キーワード(4)（和/英） | / |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 諏訪 智之 / Tomoyuki Suwa / スワ トモユキ |
| 第1著者 所属（和/英） | 東北大学 (略称： 東北大) Tohoku University (略称： Tohoku Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 寺本 章伸 / Akinobu Teramoto / テラモト アキノブ |
| 第2著者 所属（和/英） | 東北大学 (略称： 東北大) Tohoku University (略称： Tohoku Univ.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 須川 成利 / Shigetoshi Sugawa / スガワ シゲトシ |
| 第3著者 所属（和/英） | 東北大学 (略称： 東北大) Tohoku University (略称： Tohoku Univ.) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 大見 忠弘 / Tadahiro Ohmi / オオミ タダヒロ |
| 第4著者 所属（和/英） | 東北大学 (略称： 東北大) Tohoku University (略称： Tohoku Univ.) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2014-10-17 10:00:00 |
| 発表時間 | 30分 |
| 申込先研究会 | SDM |
| 資料番号 | SDM2014-89 |
| 巻番号（vol） | vol.114 |
| 号番号（no） | no.255 |
| ページ範囲 | pp.31-34 |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | 2014-10-09 (SDM) |
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