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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2014-10-22 09:00 Field Emission Spectroscopy用高精度制御電源装置の開発 ○古川和人・熊谷成輝・村田英一・浅井泰尊・加藤秀次・六田英治・下山 宏（名城大）  ED2014-68 |
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| 抄録 | （和） | ナノチップ電子源は先端の大きさをナノレベルに形成した電子源であり、電子ビーム機器の高性能化にとって必要不可欠な存在である。中でも単原子電子源は従来の電子源と比べて、高い輝度、高い可干渉性などの優れた特性を有しており、電子線応用装置への実装が期待されている。しかし、単原子電子源を実装させるためには、エネルギースペクトルを取得して構造解析をする必要がある。それには、エネルギー分析器のエネルギー分解能を向上させることが必須である。エネルギー分析器の最適な電極を設計し、その上さらに、エネルギー分析器の電源の安定性を向上させることが重要である。そこで、低リップル、低ノイズで安定した出力電圧を備えたコンピュータ制御が可能な電源装置を開発したので報告する。 |
| （英） | Recently, much attention has been refocused on a nano tip electron source, which exhibits several superior emission characteristics such as high current density with low voltage, small source size leading to high coherency, and narrow confinement of the electron beam. So far, we have developed a high precision energy analyzer to obtain the emission spectrum of electrons emitted from the nano tip electron source. In order to improve the energy resolution of the energy analyzer further, it is important to design the optimum electrode of the energy analyzer as well as to improve the stability of a power supply for the energy analyzer. Therefore, we have also developed the computer controlled power supply with a low noise, low ripple and stable output voltage. | |
| キーワード | （和） | ナノチップ電子源 / 電界放出電子分光法 / エネルギー分析器 / 制御電源装置 / 低ノイズ / / / |
| （英） | Nano tip electron source / Field Emission Spectroscopy / Energy analyzer / Power supply / Low noise / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 114, no. 262, ED2014-68, pp. 29-34, 2014年10月. | |
| 資料番号 | ED2014-68 | |
| 発行日 | 2014-10-14 (ED) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | ED2014-68 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | ED |
| 開催期間 | 2014-10-21 - 2014-10-22 |
| 開催地（和） | 北大エンレイソウ |
| 開催地（英） | Hokkaido Univ. (Faculty House Trillium) |
| テーマ（和） | 電子管と真空ナノエレクトロニクス及びその評価技術 |
| テーマ（英） | Electron Tube, Vacuum Nanoelectronics, and Their Characterization Techniques |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | ED |
| 会議コード | 2014-10-ED |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | Field Emission Spectroscopy用高精度制御電源装置の開発 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Development of high precision power supply for Field Emission Spectroscopy |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | ナノチップ電子源 / Nano tip electron source |
| キーワード(2)（和/英） | 電界放出電子分光法 / Field Emission Spectroscopy |
| キーワード(3)（和/英） | エネルギー分析器 / Energy analyzer |
| キーワード(4)（和/英） | 制御電源装置 / Power supply |
| キーワード(5)（和/英） | 低ノイズ / Low noise |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 古川 和人 / Kazuhito Furukawa / フルカワ カズヒト |
| 第1著者 所属（和/英） | 名城大学 (略称： 名城大) Meijo University (略称： Meijo Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 熊谷 成輝 / Shigeki Kumagai / クマガイ シゲキ |
| 第2著者 所属（和/英） | 名城大学 (略称： 名城大) Meijo University (略称： Meijo Univ.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 村田 英一 / Hidekazu Murata / ムラタ ヒデカズ |
| 第3著者 所属（和/英） | 名城大学 (略称： 名城大) Meijo University (略称： Meijo Univ.) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 浅井 泰尊 / Hirotaka Asai / アサイ ヒロタカ |
| 第4著者 所属（和/英） | 名城大学 (略称： 名城大) Meijo University (略称： Meijo Univ.) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | 加藤 秀次 / Shuji Kato / カトウ シュウジ |
| 第5著者 所属（和/英） | 名城大学 (略称： 名城大) Meijo University (略称： Meijo Univ.) |
| 第6著者 氏名（和/英/ヨミ） | 六田 英治 / Eiji Rokuta / ロクタ エイジ |
| 第6著者 所属（和/英） | 名城大学 (略称： 名城大) Meijo University (略称： Meijo Univ.) |
| 第7著者 氏名（和/英/ヨミ） | 下山 宏 / Hiroshi Shimoyama / シモヤマ ヒロシ |
| 第7著者 所属（和/英） | 名城大学 (略称： 名城大) Meijo University (略称： Meijo Univ.) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2014-10-22 09:00:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | ED |
| 資料番号 | ED2014-68 |
| 巻番号（vol） | vol.114 |
| 号番号（no） | no.262 |
| ページ範囲 | pp.29-34 |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2014-10-14 (ED) |
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