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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2014-11-06 13:00 ［招待講演］デバイス・シミュレーション ～ 30年間を振り返って ～ ○執行直之（東芝）  SDM2014-100 |
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| 抄録 | （和） | TCADは，デバイス開発に必須なツールとなっている．仮想的な試作により，開発期間の短縮やプロセスばらつきに強いロバスト設計に貢献している．デバイス・シミュレーションの30年間について，個人的な視点から述べる．特に， (1) 予測の確度と(2)実用性に係る物理モデルとメッシュ依存性に力点を置いて述べる． |
| （英） | TCAD is one of important tools for designing a semiconductor device. As a virtual fabrication, TCAD contributes to reduction in development time and robust design considering process fluctuations. More than 30 years’ experiences for a device simulation are described. In especial, (1) physical models and (2) mesh dependency are focused. | |
| キーワード | （和） | TCAD / 物理モデル / 逆ナロー・チャネル効果 / 不純物ゆらぎ / 少数キャリア移動度 / バンドギャップ・ナローイング / メッシュ依存性 / フラッシュ・メモリ |
| （英） | TCAD / Physical Model / Inverse Narrow-channel Effect / Random Dopant Fluctuation / Minority Carrier Mobility / Bandgap Narrowing / Mesh Dependency / Flash Memory | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 114, no. 291, SDM2014-100, pp. 25-30, 2014年11月. | |
| 資料番号 | SDM2014-100 | |
| 発行日 | 2014-10-30 (SDM) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | SDM2014-100 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | SDM |
| 開催期間 | 2014-11-06 - 2014-11-07 |
| 開催地（和） | 機械振興会館 |
| 開催地（英） | Kikai-Shinko-Kaikan Bldg. |
| テーマ（和） | プロセス・デバイス・回路シミュレーションおよび一般 |
| テーマ（英） | Process, Device, Circuit Simulation, etc. |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | SDM |
| 会議コード | 2014-11-SDM |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | デバイス・シミュレーション |
| サブタイトル（和） | 30年間を振り返って |
| タイトル（英） | Device simulation |
| サブタイトル（英） | More than 30 years in Toshiba's TCAD |
| キーワード(1)（和/英） | TCAD / TCAD |
| キーワード(2)（和/英） | 物理モデル / Physical Model |
| キーワード(3)（和/英） | 逆ナロー・チャネル効果 / Inverse Narrow-channel Effect |
| キーワード(4)（和/英） | 不純物ゆらぎ / Random Dopant Fluctuation |
| キーワード(5)（和/英） | 少数キャリア移動度 / Minority Carrier Mobility |
| キーワード(6)（和/英） | バンドギャップ・ナローイング / Bandgap Narrowing |
| キーワード(7)（和/英） | メッシュ依存性 / Mesh Dependency |
| キーワード(8)（和/英） | フラッシュ・メモリ / Flash Memory |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 執行 直之 / Naoyuki Shigyo / シギョウ ナオユキ |
| 第1著者 所属（和/英） | 株式会社東芝 (略称： 東芝) Toshiba Corporation (略称： Toshiba) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2014-11-06 13:00:00 |
| 発表時間 | 50分 |
| 申込先研究会 | SDM |
| 資料番号 | SDM2014-100 |
| 巻番号（vol） | vol.114 |
| 号番号（no） | no.291 |
| ページ範囲 | pp.25-30 |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2014-10-30 (SDM) |
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