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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2014-11-07 11:15 モンテカルロ法を用いたSiダブルゲート構造MOSFETの準バリスティック輸送係数の抽出 ○土屋英昭・石田良馬（神戸大）・鎌倉良成・森 伸也（阪大）・宇野重康（立命館大）・小川真人（神戸大）  SDM2014-105 |
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| 抄録 | （和） | 本稿では、モンテカルロシミュレーションを用いてSiダブルゲート構造MOSFETの準バリスティック輸送係数を抽出し、物理的極限にまで微細化されたSi MOSFETのデバイス特性を議論する。特に、チャネル長が10 nm以下になると、チャネルの薄層化によってチャネル膜厚ゆらぎ散乱が増大し、MOSFETのバリスティック効率、すなわちオン電流が急激に低下することを明らかにする。また、準バリスティック輸送係数のゲート及びドレイン電圧依存性についても検討を行う。 |
| （英） | Recently, we have developed a Monte Carlo simulator for accurately extracting quasi-ballistic transport parameters in MOSFETs. In this paper, using the Monte Carlo simulator we discuss the device performance of Si double-gate MOSFETs scaled down to a sub-10 nm channel length. It is found that ballistic transport in double-gate MOSFETs is degraded when the channel length decreases to less than 10 nm, owing to surface roughness scattering intensified by channel thickness fluctuation along the transport direction. The gate and drain bias voltage dependencies of ballistic efficiency are also discussed. | |
| キーワード | （和） | 準バリスティック輸送 / モンテカルロ法 / 極薄チャネル構造 / チャネル膜厚ゆらぎ / / / / |
| （英） | Quasi-Ballistic Transport / Monte Carlo Method / Ultrathin Body Structure / Channel Thickness Fluctuation / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 114, no. 291, SDM2014-105, pp. 53-58, 2014年11月. | |
| 資料番号 | SDM2014-105 | |
| 発行日 | 2014-10-30 (SDM) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | SDM2014-105 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | SDM |
| 開催期間 | 2014-11-06 - 2014-11-07 |
| 開催地（和） | 機械振興会館 |
| 開催地（英） | Kikai-Shinko-Kaikan Bldg. |
| テーマ（和） | プロセス・デバイス・回路シミュレーションおよび一般 |
| テーマ（英） | Process, Device, Circuit Simulation, etc. |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | SDM |
| 会議コード | 2014-11-SDM |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | モンテカルロ法を用いたSiダブルゲート構造MOSFETの準バリスティック輸送係数の抽出 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Quasi-Ballistic Transport Parameters in Si Double-Gate MOSFETs Extracted Using Monte Carlo Method |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | 準バリスティック輸送 / Quasi-Ballistic Transport |
| キーワード(2)（和/英） | モンテカルロ法 / Monte Carlo Method |
| キーワード(3)（和/英） | 極薄チャネル構造 / Ultrathin Body Structure |
| キーワード(4)（和/英） | チャネル膜厚ゆらぎ / Channel Thickness Fluctuation |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 土屋 英昭 / Hideaki Tsuchiya / ツチヤ ヒデアキ |
| 第1著者 所属（和/英） | 神戸大学 (略称： 神戸大) Kobe University (略称： Kobe Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 石田 良馬 / Ryoma Ishida / イシダ リョウマ |
| 第2著者 所属（和/英） | 神戸大学 (略称： 神戸大) Kobe University (略称： Kobe Univ.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 鎌倉 良成 / Yoshinari Kamakura / カマクラ ヨリナリ |
| 第3著者 所属（和/英） | 大阪大学 (略称： 阪大) Osaka University (略称： Osaka Univ.) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 森 伸也 / Nobuya Mori / モリ ノブヤ |
| 第4著者 所属（和/英） | 大阪大学 (略称： 阪大) Osaka University (略称： Osaka Univ.) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | 宇野 重康 / Shigeyasu Uno / ウノ シゲヤス |
| 第5著者 所属（和/英） | 立命館大学 (略称： 立命館大) Risutmeikan University (略称： Ritsumeikan Univ.) |
| 第6著者 氏名（和/英/ヨミ） | 小川 真人 / Matsuto Ogawa / オガワ マツト |
| 第6著者 所属（和/英） | 神戸大学 (略称： 神戸大) Kobe University (略称： Kobe Univ.) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2014-11-07 11:15:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | SDM |
| 資料番号 | SDM2014-105 |
| 巻番号（vol） | vol.114 |
| 号番号（no） | no.291 |
| ページ範囲 | pp.53-58 |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2014-10-30 (SDM) |
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