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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2014-11-27 15:35 InNの硬度とヤング率の評価 ○大久保 泰・出浦桃子（東北大）・徳本有紀（東大）・沓掛健太朗・大野 裕・米永一郎（東北大）  ED2014-82 CPM2014-139 LQE2014-110 |
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| 抄録 | （和） | Plasma-assisted MBE法によって成長された厚さが0.5~4 μmのInN薄膜結晶について、結晶品質が良好であることが確認された後に、その機械的特性の重要な指標である硬度とヤング率がナノインデンテーション法によって測定され、それぞれ8.2 GPaと178 GPaと決定された。結晶性はIn極性で成長された結晶がN極性成長試料より良好であり、その特徴は機械的特性に発現した。 |
| （英） | InN thin films of 0.5~4 μm thickness grown by plasma-assisted MBE method were investigated on the mechanical properties of hardness and Young’s modulus by nanoindentation tests at room temperature in terms of the crystalline quality. The hardness and Young’s modulus were determined to be 8.2 and 178 GPa, respectively. The values were strongly affected by the crystallinity. | |
| キーワード | （和） | 窒化インジウム / 硬度 / ヤング率 / ナノインデンテーション法 / 結晶性 / / / |
| （英） | InN / hardness / Young's modulus / nanoindentation / crystallinity / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 114, no. 338, LQE2014-110, pp. 45-48, 2014年11月. | |
| 資料番号 | LQE2014-110 | |
| 発行日 | 2014-11-20 (ED, CPM, LQE) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | ED2014-82 CPM2014-139 LQE2014-110 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | LQE ED CPM |
| 開催期間 | 2014-11-27 - 2014-11-28 |
| 開催地（和） | 大阪大学 吹田キャンパス 理工学図書館 |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | 窒化物半導体光・電子デバイス、材料、関連技術、及び一般 |
| テーマ（英） | |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | LQE |
| 会議コード | 2014-11-LQE-ED-CPM |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | InNの硬度とヤング率の評価 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Hardness and Young's modulus of InN |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | 窒化インジウム / InN |
| キーワード(2)（和/英） | 硬度 / hardness |
| キーワード(3)（和/英） | ヤング率 / Young's modulus |
| キーワード(4)（和/英） | ナノインデンテーション法 / nanoindentation |
| キーワード(5)（和/英） | 結晶性 / crystallinity |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 大久保 泰 / Yasushi Ohkubo / オオクボ ヤスシ |
| 第1著者 所属（和/英） | 東北大学 (略称： 東北大) Tohoku University (略称： Tohoku Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 出浦 桃子 / Momoto Deura / デウラ モモコ |
| 第2著者 所属（和/英） | 東北大学 (略称： 東北大) Tohoku University (略称： Tohoku Univ.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 徳本 有紀 / Yuki Tokumoto / トクモト ユキ |
| 第3著者 所属（和/英） | 東京大学 (略称： 東大) University of Tokyo (略称： Univ. Tokyo) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 沓掛 健太朗 / Kentaro Kutsukake / クツカケ ケンタロウ |
| 第4著者 所属（和/英） | 東北大学 (略称： 東北大) Tohoku University (略称： Tohoku Univ.) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | 大野 裕 / Yutaka Ohno / オオノ ユタカ |
| 第5著者 所属（和/英） | 東北大学 (略称： 東北大) Tohoku University (略称： Tohoku Univ.) |
| 第6著者 氏名（和/英/ヨミ） | 米永 一郎 / Ichiro Yonenaga / ヨネナガ イチロウ |
| 第6著者 所属（和/英） | 東北大学 (略称： 東北大) Tohoku University (略称： Tohoku Univ.) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2014-11-27 15:35:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | LQE |
| 資料番号 | ED2014-82, CPM2014-139, LQE2014-110 |
| 巻番号（vol） | vol.114 |
| 号番号（no） | no.336(ED), no.337(CPM), no.338(LQE) |
| ページ範囲 | pp.45-48 |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | 2014-11-20 (ED, CPM, LQE) |
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