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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2014-12-18 11:05 光学フィルタへの応用に向けた金属2次元回折格子構造の作製と光学特性評価 ○鬼頭壮宜・元垣内敦司・三宅秀人・平松和政（三重大）  OPE2014-141 LQE2014-128 |
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| 抄録 | （和） | 従来技術に変わる熱線遮蔽対策として，可視光は透過，赤外光は反射を同時に達成するコールドフィルタを実現するために，金属2次元回折格子を電子線リソグラフィ技術とリフトオフ工程を利用して作製し、分光器を用いて光学特性評価を行った．その結果，リフトオフ工程を省略して作製できる2層型2次元回折格子の周期800nmにおいて，可視光全体で0次光の反射率の減少が見られた．また，2層間間隔と反射率・透過率の関係を調べることによって，2層間間隔が狭くなるとAu薄膜に特性が近くなり，反射スペクトルの極小・極大を持つ波長がシフトしていくことが分かった． |
| （英） | As heat-ray shielding steps replacing conventional technique, we fabricated the 2D metal grating structure by electron beam lithography and lift-off process and evaluated its optical characteristics for substantiating the cold filter which achieve simultaneously the visible light is transmitted and the infrared ray is reflected. As the result, bilayer 2D metal grating which is able to fabricate by omitting lift-off process with period 800nm decreased reflectance of the 0th diffracted light over the whole visible light. Moreover, by examining the relation between separation and its reflectance and transmittance, we showed that the spectra of reflectance and transmittance are close to that of Au thin film and the wavelengths with minimum and maximum shift, as narrowing space between top and bottom Au layer. | |
| キーワード | （和） | 金属2次元回折格子 / 光学フィルタ / 反射率 / 透過率 / / / / |
| （英） | 2D metal grating / Optical Filter / Reflectance / Transmittance / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 114, no. 377, OPE2014-141, pp. 11-14, 2014年12月. | |
| 資料番号 | OPE2014-141 | |
| 発行日 | 2014-12-11 (OPE, LQE) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | OPE2014-141 LQE2014-128 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | OPE LQE |
| 開催期間 | 2014-12-18 - 2014-12-19 |
| 開催地（和） | 機械振興会館(12/18)、NTT厚木センタ(12/19) |
| 開催地（英） | Kikai-Shinko-Kaikan, NTT Atsugi R&D center |
| テーマ（和） | 光パッシブコンポネント(フィルタ，コネクタ，MEMS)、半導体レーザ関連技術、シリコンフォトニクス、一般 |
| テーマ（英） | Optical passive component (filter, connector, MEMS), Semiconductor lasers, Silicon photonics, etc |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | OPE |
| 会議コード | 2014-12-OPE-LQE |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | 光学フィルタへの応用に向けた金属2次元回折格子構造の作製と光学特性評価 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Fabrication of the 2D metal grating structure for the application to an optical filter and optical characterization |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | 金属2次元回折格子 / 2D metal grating |
| キーワード(2)（和/英） | 光学フィルタ / Optical Filter |
| キーワード(3)（和/英） | 反射率 / Reflectance |
| キーワード(4)（和/英） | 透過率 / Transmittance |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 鬼頭 壮宜 / Masanori Kito / キトウ マサノリ |
| 第1著者 所属（和/英） | 三重大学 (略称： 三重大) Mie University (略称： Mie Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 元垣内 敦司 / Atsushi Motogaito / モトガイト アツシ |
| 第2著者 所属（和/英） | 三重大学 (略称： 三重大) Mie University (略称： Mie Univ.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 三宅 秀人 / Hideto Miyake / ミヤケ ヒデト |
| 第3著者 所属（和/英） | 三重大学 (略称： 三重大) Mie University (略称： Mie Univ.) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 平松 和政 / Kazumasa Hiramatsu / ヒラマツ カズマサ |
| 第4著者 所属（和/英） | 三重大学 (略称： 三重大) Mie University (略称： Mie Univ.) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2014-12-18 11:05:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | OPE |
| 資料番号 | OPE2014-141, LQE2014-128 |
| 巻番号（vol） | vol.114 |
| 号番号（no） | no.377(OPE), no.378(LQE) |
| ページ範囲 | pp.11-14 |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | 2014-12-11 (OPE, LQE) |
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