講演抄録/キーワード |
講演名 |
2015-01-23 11:02
トップダウンによる三角形状GaNマイクロディスクの光学特性に関する検討 ○鈴木 翔・光野徹也(静岡大)・酒井 優(山梨大)・岸野克巳(上智大)・原 和彦(静岡大) EID2014-53 エレソ技報アーカイブへのリンク:EID2014-53 |
抄録 |
(和) |
一辺1.5 umから4.4 um、高さ1.2 um程度の三角形状GaNマイクロディスクを三角格子状に配列したマイクロディスクアレイを電子線描画と反応性イオンエッチングにより、GaN薄膜を微細加工することで作製した。このマイクロディスクアレイから波長370 nm程度で先鋭な光励起誘導放出を得た。本実験では、ウィスパリングギャラリーモード(WGM)が機能する最もシンプルな構造である三角形状マイクロディスクが光閉じ込め効果を発揮し、誘導放出が誘引されたと考えられる。 |
(英) |
Triangular GaN microdisk arrays were fabricated by an electron-beam lithography and an inductively coupled plasma reactive ion etching technique. The side length and height of the triangular GaN microdisks were approximately 1.5 um to 4.4 um and 1.2 um, respectively. The microdisks were arranged with triangular lattice. The stimulated emission was obtained from the microdisk arrays. Triangular microdisk is the most simplest structure which acts as the whispering gallery (WGM) mode resonant system, and we demonstrated the stimulated emissions which probably based on the WGM in the triangular GaN microdisk. |
キーワード |
(和) |
GaN / マイクロディスク / ウィスパリングギャラリーモード / / / / / |
(英) |
GaN / microdisk / whispering gallery mode / / / / / |
文献情報 |
信学技報, vol. 114, no. 407, EID2014-53, pp. 103-105, 2015年1月. |
資料番号 |
EID2014-53 |
発行日 |
2015-01-15 (EID) |
ISSN |
Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 |
著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) |
PDFダウンロード |
EID2014-53 エレソ技報アーカイブへのリンク:EID2014-53 |