講演抄録/キーワード |
講演名 |
2015-04-17 09:30
赤外分光法によるナノバブルの表面洗浄効果のその場観察 齋藤栄幸・馬 騰・○山本英明・平野愛弓・庭野道夫(東北大) ED2015-10 エレソ技報アーカイブへのリンク:ED2015-10 |
抄録 |
(和) |
直径1 µm以下の微細気泡はナノバブルと呼ばれ,表面洗浄効果や水質浄化などの特異な性質が明らかにされたことにより,近年,半導体工学や医療分野など多方面において応用が期待されている.しかし,そのような効果が生じる物理化学的機序は已然として不明な点が多い.本研究では赤外吸収分光法を用いて,規則的ナノ細孔を有するポーラスアルミナ薄膜を通して高圧ガスを溶液内に噴射することによりナノバブルを発生できることを確認し,続いて固体表面に吸着させた有機汚染物質とナノバブルとの相互作用を調べたのでその結果を報告する. |
(英) |
Using multiple internal reflection spectroscopy, we studied how nanobubbles interact with solid surfaces and removes organic contaminants. Nanobubbles were generated by passing pressurized gas through a porous alumina film. We show that a major organic contaminant in semiconductor processing, dioctyl phthalate (DOP), was efficiently removed from the surface via its exposure to oxygen nanobubbles, whereas no sign of removal was observed with nitrogen nanobubbles. The results suggest chemical interaction as dominant factor in contaminant removal. |
キーワード |
(和) |
ナノバブル / ポーラスアルミナ / 赤外吸収分光法 / DOP / / / / |
(英) |
nanobubble / porous alumina / infrared absorption spectroscopy / DOP / / / / |
文献情報 |
信学技報, vol. 115, no. 5, ED2015-10, pp. 47-52, 2015年4月. |
資料番号 |
ED2015-10 |
発行日 |
2015-04-09 (ED) |
ISSN |
Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 |
著作権に ついて |
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