| 電子情報通信学会 研究会発表申込システム 講演論文 詳細 |
技報閲覧サービス [ログイン] 技報アーカイブ |
| トップに戻る | 前のページに戻る | [Japanese] / [English] |
| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2015-04-30 11:05 非晶質Ge薄膜のAu誘起成長に及ぼすTEOS-SiO2キャップ層の影響 ○工藤和樹・草野欽太・酒井崇嗣（熊本高専）・本山慎一・楠田 豊・古田真浩（サムコ）・中 庸行・沼田朋子（堀場製作所）・高倉健一郎・角田 功（熊本高専）  SDM2015-11 OME2015-11 |
|
| 抄録 | （和） | (まだ登録されていません) |
| （英） | (Not available yet) | |
| キーワード | （和） | / / / / / / / |
| （英） | / / / / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 115, no. 18, SDM2015-11, pp. 41-44, 2015年4月. | |
| 資料番号 | SDM2015-11 | |
| 発行日 | 2015-04-22 (SDM, OME) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | SDM2015-11 OME2015-11 |
|
| 研究会情報 | |
| 研究会 | OME SDM |
| 開催期間 | 2015-04-29 - 2015-04-30 |
| 開催地（和） | 大濱信泉記念館多目的ホール |
| 開催地（英） | Oh-hama Nobumoto Memorial Hall |
| テーマ（和） | 薄膜（Si,化合物,有機,フレキシブル）機能デバイス・材料・評価技術、バイオテクノロジー、および一般 |
| テーマ（英） | Thin FIlms, Functional Electronics Devices, New Functional Materials and Evaluation, BIomtechnology |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | SDM |
| 会議コード | 2015-04-OME-SDM |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | 非晶質Ge薄膜のAu誘起成長に及ぼすTEOS-SiO2キャップ層の影響 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Influence of TEOS-SiO2 cap layer on Au induced lateral crystallization for amorphous Ge on insulator |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | / |
| キーワード(2)（和/英） | / |
| キーワード(3)（和/英） | / |
| キーワード(4)（和/英） | / |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 工藤 和樹 / Kazuki Kudo / クドウ カズキ |
| 第1著者 所属（和/英） | 熊本高等専門学校 (略称： 熊本高専) Kumamoto National College of Technology (略称： KNCT) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 草野 欽太 / Kinta Kusano / クサノ キンタ |
| 第2著者 所属（和/英） | 熊本高等専門学校 (略称： 熊本高専) Kumamoto National College of Technology (略称： KNCT) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 酒井 崇嗣 / Takatsugu Sakai / サカイ タカツグ |
| 第3著者 所属（和/英） | 熊本高等専門学校 (略称： 熊本高専) Kumamoto National College of Technology (略称： KNCT) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 本山 慎一 / Shinichi Motoyama / モトヤマ シンイチ |
| 第4著者 所属（和/英） | サムコ株式会社 (略称： サムコ) SAMCO (略称： SAMCO) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | 楠田 豊 / Yutaka Kusuda / クスダ ユタカ |
| 第5著者 所属（和/英） | サムコ株式会社 (略称： サムコ) SAMCO (略称： SAMCO) |
| 第6著者 氏名（和/英/ヨミ） | 古田 真浩 / Masahiro Furuta / フルタ マサヒロ |
| 第6著者 所属（和/英） | サムコ株式会社 (略称： サムコ) SAMCO (略称： SAMCO) |
| 第7著者 氏名（和/英/ヨミ） | 中 庸行 / Nobuyuki Naka / ナカ ノブユキ |
| 第7著者 所属（和/英） | 株式会社堀場製作所 (略称： 堀場製作所) HORIBA (略称： HORIBA) |
| 第8著者 氏名（和/英/ヨミ） | 沼田 朋子 / Tomoko Numata / ヌマタ トモコ |
| 第8著者 所属（和/英） | 株式会社堀場製作所 (略称： 堀場製作所) HORIBA (略称： HORIBA) |
| 第9著者 氏名（和/英/ヨミ） | 高倉 健一郎 / Kenichiro Takakura / タカクラ ケンイチロウ |
| 第9著者 所属（和/英） | 熊本高等専門学校 (略称： 熊本高専) Kumamoto National College of Technology (略称： KNCT) |
| 第10著者 氏名（和/英/ヨミ） | 角田 功 / Isao Tsunoda / ツノダ イサオ |
| 第10著者 所属（和/英） | 熊本高等専門学校 (略称： 熊本高専) Kumamoto National College of Technology (略称： KNCT) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2015-04-30 11:05:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | SDM |
| 資料番号 | SDM2015-11, OME2015-11 |
| 巻番号（vol） | vol.115 |
| 号番号（no） | no.18(SDM), no.19(OME) |
| ページ範囲 | pp.41-44 |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | 2015-04-22 (SDM, OME) |
[研究会発表申込システムのトップページに戻る]