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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2015-07-25 11:30 共鳴トンネル素子を用いたΔΣ型歪みセンサ ○前澤宏一・角谷祐一郎・中山大周・田近拓巳・森 雅之（富山大）  ED2015-46 |
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| 抄録 | （和） | 共鳴トンネルダイオード(RTD)の微分負性抵抗は発振器の基盤であり，これを用いてすでに1THzを越える基本波発振が報告されている．RTD発振器は．THz信号源だけではなく，センサーへの応用も有望である．ここでは，カンチレバー上に装荷したRTD発振器の歪による周波数変調を利用した歪センサーについて述べた．これは，周波数変調(FM)中間信号を利用した$DeltaSigma$アナログ・デジタル変換器の原理を応用し，高ダイナミックレンジ，広帯域なセンサーを得ようというものである．本稿では，これを実現するための回路設計，プロセスについて述べ，また，$DeltaSigma$変調方式の最も重要な特性であるノイズシェーピング特性の実験的検証結果について述べた． |
| （英） | A negative differential resistance (NDR) of resonant tunneling diodes (RTDs) is a basis for high frequency oscillators. Over 1 THz oscillations have been already reported with the RTD oscillators. Besides THz signal sources. the RTD oscillatiors can be a basis for high performance sensors. In this paper we discuss a strain sensor based on the frequency modulation of a RTD oscillator fabricated on a cantilever. Employing frequency $DeltaSigma$ modulation technique, ultra high dynamic range and wide frequency range are expected for this implementation. We discuss the design and fabrication process of the RTD strain sensors, and demonstrate the noise shaping behavior, which is a most important feature of the $DeltaSigma$ modulation. | |
| キーワード | （和） | 共鳴トンネルダイオード / 発振器 / ピエゾ効果 / $DeltaSigma$変調 / / / / |
| （英） | resonant tunneling diode / oscillator / piezo effect / $DeltaSigma$ modulation / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 115, no. 156, ED2015-46, pp. 51-55, 2015年7月. | |
| 資料番号 | ED2015-46 | |
| 発行日 | 2015-07-17 (ED) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | ED2015-46 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | ED |
| 開催期間 | 2015-07-24 - 2015-07-25 |
| 開催地（和） | ITビジネスプラザ武蔵研修室1(金沢市武蔵町) |
| 開催地（英） | IT Business Plaza Musashi 5F |
| テーマ（和） | 半導体プロセス・デバイス(表面、界面、信頼性)、一般 |
| テーマ（英） | Semiconductor Processes and Devices |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | ED |
| 会議コード | 2015-07-ED |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | 共鳴トンネル素子を用いたΔΣ型歪みセンサ |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Delta-Sigma Strain Sensor Using a Resonant Tunneling Diode |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | 共鳴トンネルダイオード / resonant tunneling diode |
| キーワード(2)（和/英） | 発振器 / oscillator |
| キーワード(3)（和/英） | ピエゾ効果 / piezo effect |
| キーワード(4)（和/英） | $DeltaSigma$変調 / $DeltaSigma$ modulation |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 前澤 宏一 / Koichi Maezawa / マエザワ コウイチ |
| 第1著者 所属（和/英） | 富山大学 (略称： 富山大) University of Toyama (略称： Univ. Toyama) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 角谷 祐一郎 / Yuichiro Kakutani / カクタニ ユウイチロウ |
| 第2著者 所属（和/英） | 富山大学 (略称： 富山大) University of Toyama (略称： Univ. Toyama) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 中山 大周 / Taishu Nakayama / ナカヤマ タイシュウ |
| 第3著者 所属（和/英） | 富山大学 (略称： 富山大) University of Toyama (略称： Univ. Toyama) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 田近 拓巳 / Takumi Tajika / タジカ タクミ |
| 第4著者 所属（和/英） | 富山大学 (略称： 富山大) University of Toyama (略称： Univ. Toyama) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | 森 雅之 / Masayuki Mori / モリ マサユキ |
| 第5著者 所属（和/英） | 富山大学 (略称： 富山大) University of Toyama (略称： Univ. Toyama) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2015-07-25 11:30:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | ED |
| 資料番号 | ED2015-46 |
| 巻番号（vol） | vol.115 |
| 号番号（no） | no.156 |
| ページ範囲 | pp.51-55 |
| ページ数 | 5 |
| 発行日 | 2015-07-17 (ED) |
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