| 講演抄録／キーワード |
| 講演名 |
2015-08-24 09:30
［招待講演］フィラメント制御による28nm混載メモリ向けReRAM開発
○早川幸夫・姫野敦史・安原隆太郎・藤井 覚・伊藤 理・川島良男・池田雄一郎・川原昭文・河合 賢・魏 志強・村岡俊作・島川一彦・三河 巧・米田慎一（パナソニック）  SDM2015-57 ICD2015-26 |
| 抄録 |
（和） |
２８ｎｍ混載メモリ向けとして、耐熱性に優れ、フィラメント制御が可能なＴａＯｘ ＲｅＲＡＭ素子を提案する。その為に、我々は、新たな素子形成技術（低ダメージのエッチング技術，素子端面の酸化技術，素子のカプセル化技術）を開発し、フィラメント位置の制御を実現した。また、２８ｎｍサイズの素子において、良好な信頼性が得られる事を確認した。更に、４０ｎｍ世代の配線ルールで２Ｍビット容量のメモリアレイを試作し、１０万回の書換え特性と１０年間のデータ保持特性（８５℃）について検証を行った。 |
| （英） |
For 28-nm embedded application, we have proposed a TaOx-based ReRAM with precise filament positioning and high thermal stability. The cell was realized using several newly-developed process technologies and cell structures: low-damage etching, cell side oxidation and encapsulated cell structure. As a result, we succeeded for the first time in forming a filament at the cell center. In addition, we confirmed the feasibility of 20-nm cell size. Excellent reliability was achieved in 2-Mbit 40-nm ReRAM: 100k cycles and 10 years’ retention at 85 ˚C was demonstrated. |
| キーワード |
（和） |
ＲｅＲＡＭ / ＴａＯｘ / フィラメント制御 / 混載メモリ / / / / |
| （英） |
ReRAM / TaOx / Filament control / Embedded memory / / / / |
| 文献情報 |
信学技報, vol. 115, no. 190, SDM2015-57, pp. 1-5, 2015年8月. |
| 資料番号 |
SDM2015-57 |
| 発行日 |
2015-08-17 (SDM, ICD) |
| ISSN |
Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 |
著作権に
ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) |
| PDFダウンロード |
SDM2015-57 ICD2015-26 |
| 研究会情報 |
| 研究会 |
SDM ICD |
| 開催期間 |
2015-08-24 - 2015-08-25 |
| 開催地（和） |
熊本市 |
| 開催地（英） |
Kumamoto City |
| テーマ（和） |
低電圧/低消費電力技術、新デバイス・回路とその応用 |
| テーマ（英） |
Low voltage/low power techniques, novel devices, circuits, and applications |
| 講演論文情報の詳細 |
| 申込み研究会 |
SDM |
| 会議コード |
2015-08-SDM-ICD |
| 本文の言語 |
日本語 |
| タイトル（和） |
フィラメント制御による28nm混載メモリ向けReRAM開発 |
| サブタイトル（和） |
|
| タイトル（英） |
Highly Reliable TaOx ReRAM with Centralized Filament for 28-nm Embedded Application |
| サブタイトル（英） |
|
| キーワード(1)（和/英） |
ＲｅＲＡＭ / ReRAM |
| キーワード(2)（和/英） |
ＴａＯｘ / TaOx |
| キーワード(3)（和/英） |
フィラメント制御 / Filament control |
| キーワード(4)（和/英） |
混載メモリ / Embedded memory |
| キーワード(5)（和/英） |
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| キーワード(6)（和/英） |
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| キーワード(7)（和/英） |
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| キーワード(8)（和/英） |
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| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） |
早川 幸夫 / Yukio Hayakawa / ハヤカワ ユキオ |
| 第1著者 所属（和/英） |
パナソニック セミコンダクターソリューションズ株式会社 (略称： パナソニック)
Panasonic Semiconductor Solutions Co., Ltd. (略称： Panasonic) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） |
姫野 敦史 / Atsushi Himeno / ヒメノ アツシ |
| 第2著者 所属（和/英） |
パナソニック セミコンダクターソリューションズ株式会社 (略称： パナソニック)
Panasonic Semiconductor Solutions Co., Ltd. (略称： Panasonic) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） |
安原 隆太郎 / Ryutaro Yasuhara / ヤスハラ リュウタロウ |
| 第3著者 所属（和/英） |
パナソニック セミコンダクターソリューションズ株式会社 (略称： パナソニック)
Panasonic Semiconductor Solutions Co., Ltd. (略称： Panasonic) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） |
藤井 覚 / Satoru Fujii / フジイ サトル |
| 第4著者 所属（和/英） |
パナソニック セミコンダクターソリューションズ株式会社 (略称： パナソニック)
Panasonic Semiconductor Solutions Co., Ltd. (略称： Panasonic) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） |
伊藤 理 / Satoru Ito / イトウ サトル |
| 第5著者 所属（和/英） |
パナソニック セミコンダクターソリューションズ株式会社 (略称： パナソニック)
Panasonic Semiconductor Solutions Co., Ltd. (略称： Panasonic) |
| 第6著者 氏名（和/英/ヨミ） |
川島 良男 / Yoshio Kawashima / カワシマ ヨシオ |
| 第6著者 所属（和/英） |
パナソニック セミコンダクターソリューションズ株式会社 (略称： パナソニック)
Panasonic Semiconductor Solutions Co., Ltd. (略称： Panasonic) |
| 第7著者 氏名（和/英/ヨミ） |
池田 雄一郎 / Yuuichirou Ikeda / イケダ ユウイチロウ |
| 第7著者 所属（和/英） |
パナソニック セミコンダクターソリューションズ株式会社 (略称： パナソニック)
Panasonic Semiconductor Solutions Co., Ltd. (略称： Panasonic) |
| 第8著者 氏名（和/英/ヨミ） |
川原 昭文 / Akifumi Kawahara / カワハラ アキフミ |
| 第8著者 所属（和/英） |
パナソニック セミコンダクターソリューションズ株式会社 (略称： パナソニック)
Panasonic Semiconductor Solutions Co., Ltd. (略称： Panasonic) |
| 第9著者 氏名（和/英/ヨミ） |
河合 賢 / Ken Kawai / カワイ ケン |
| 第9著者 所属（和/英） |
パナソニック セミコンダクターソリューションズ株式会社 (略称： パナソニック)
Panasonic Semiconductor Solutions Co., Ltd. (略称： Panasonic) |
| 第10著者 氏名（和/英/ヨミ） |
魏 志強 / Zhiqiang Wei / ウェイ ツイチャン |
| 第10著者 所属（和/英） |
パナソニック セミコンダクターソリューションズ株式会社 (略称： パナソニック)
Panasonic Semiconductor Solutions Co., Ltd. (略称： Panasonic) |
| 第11著者 氏名（和/英/ヨミ） |
村岡 俊作 / Shunsaku Muraoka / ムラオカ シンサク |
| 第11著者 所属（和/英） |
パナソニック セミコンダクターソリューションズ株式会社 (略称： パナソニック)
Panasonic Semiconductor Solutions Co., Ltd. (略称： Panasonic) |
| 第12著者 氏名（和/英/ヨミ） |
島川 一彦 / Kazuhiko Shimakawa / シマカワ カズヒコ |
| 第12著者 所属（和/英） |
パナソニック セミコンダクターソリューションズ株式会社 (略称： パナソニック)
Panasonic Semiconductor Solutions Co., Ltd. (略称： Panasonic) |
| 第13著者 氏名（和/英/ヨミ） |
三河 巧 / Takumi Mikawa / ミカワ タクミ |
| 第13著者 所属（和/英） |
パナソニック セミコンダクターソリューションズ株式会社 (略称： パナソニック)
Panasonic Semiconductor Solutions Co., Ltd. (略称： Panasonic) |
| 第14著者 氏名（和/英/ヨミ） |
米田 慎一 / Shinichi Yoneda / ヨネダ シンイチ |
| 第14著者 所属（和/英） |
パナソニック セミコンダクターソリューションズ株式会社 (略称： パナソニック)
Panasonic Semiconductor Solutions Co., Ltd. (略称： Panasonic) |
| 第15著者 氏名（和/英/ヨミ） |
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| 第15著者 所属（和/英） |
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| 第16著者 氏名（和/英/ヨミ） |
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| 第17著者 氏名（和/英/ヨミ） |
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| 第18著者 氏名（和/英/ヨミ） |
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| 第19著者 氏名（和/英/ヨミ） |
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| 第20著者 氏名（和/英/ヨミ） |
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| 第21著者 氏名（和/英/ヨミ） |
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| 第26著者 氏名（和/英/ヨミ） |
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| 第27著者 氏名（和/英/ヨミ） |
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| 第28著者 氏名（和/英/ヨミ） |
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| 第29著者 氏名（和/英/ヨミ） |
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| 第36著者 氏名（和/英/ヨミ） |
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| 第36著者 所属（和/英） |
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| 講演者 |
第1著者 |
| 発表日時 |
2015-08-24 09:30:00 |
| 発表時間 |
50分 |
| 申込先研究会 |
SDM |
| 資料番号 |
SDM2015-57, ICD2015-26 |
| 巻番号（vol） |
vol.115 |
| 号番号（no） |
no.190(SDM), no.191(ICD) |
| ページ範囲 |
pp.1-5 |
| ページ数 |
5 |
| 発行日 |
2015-08-17 (SDM, ICD) |