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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2015-09-03 14:30 c軸平行配向ZnO膜/円管石英構造におけるSH波の多重周回伝搬特性と導電率測定への応用 ○日山彰子（同志社大）・柳谷隆彦（早大）・高柳真司・松川真美（同志社大）  US2015-49 |
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| 抄録 | （和） | SH波は液体中に音波を漏洩せずに伝搬するため，導電率や粘度などが測定可能である．これまでに我々は，c軸平行配向ZnO膜を用いてSH波を励振することに成功してきた．一方，球表面などに音波を多重周回させることで長距離伝搬が可能となり，液体の特性による音速や振幅の変化を高感度に検出できる．そこで本研究では，まずc軸平行配向ZnO膜/平面石英構造センサによる導電率測定を行った．次に，c軸平行配向ZnO膜/円管石英構造センサを作製し，多重周回波の伝搬特性を測定した． |
| （英） | Shear horizontal (SH) waves with in-plane displacement can propagate at liquid/solid interface with the small energy leakage. Therefore it can measure viscosity and conductivity. In previous study, we have demonstrated the excitation of SH wave using IDT/c-axis oriented ZnO film/silica glass substrate. A high-sensitive sensor is expected if the long propagation path can be achieved such as multiple wave roundtrip system in the Ball SAW. In this study, at first, we fabricated c-axis oriented ZnO film/silice glass plate structure, and measured conductivity. Then, we observed propagation characteristics of wave multiple roundtrips in pipe structure sensor. | |
| キーワード | （和） | c軸平行配向ZnO膜 / SH波 / 円管型センサ / SH-SAW / 導電率測定 / / / |
| （英） | c-axis parallel oriented ZnO film / SH wave / Pipe sensor / SH-SAW / Conductivity measurement / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 115, no. 207, US2015-49, pp. 19-24, 2015年9月. | |
| 資料番号 | US2015-49 | |
| 発行日 | 2015-08-27 (US) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | US2015-49 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | US |
| 開催期間 | 2015-09-03 - 2015-09-04 |
| 開催地（和） | 第一滝本館<br>（北海道登別） |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | 一般 |
| テーマ（英） | General |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | US |
| 会議コード | 2015-09-US |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | c軸平行配向ZnO膜/円管石英構造におけるSH波の多重周回伝搬特性と導電率測定への応用 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Investigation of multiple shear wave roundtrips liquid sensor by c-axis parallel oriented ZnO film/silica glass pipe structure |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | c軸平行配向ZnO膜 / c-axis parallel oriented ZnO film |
| キーワード(2)（和/英） | SH波 / SH wave |
| キーワード(3)（和/英） | 円管型センサ / Pipe sensor |
| キーワード(4)（和/英） | SH-SAW / SH-SAW |
| キーワード(5)（和/英） | 導電率測定 / Conductivity measurement |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 日山 彰子 / Shoko Hiyama / ヒヤマ ショコ |
| 第1著者 所属（和/英） | 同志社大学 (略称： 同志社大) Doshisha University (略称： Doshisha Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 柳谷 隆彦 / Takahiko Yanagitani / ヤナギタニ タカヒコ |
| 第2著者 所属（和/英） | 早稲田大学 (略称： 早大) Waseda University (略称： Waseda Univ.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 高柳 真司 / Shinji Takayanagi / タカヤナギ シンジ |
| 第3著者 所属（和/英） | 同志社大学 (略称： 同志社大) Doshisha University (略称： Doshisha Univ.) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 松川 真美 / Mami Matsukawa / |
| 第4著者 所属（和/英） | 同志社大学 (略称： 同志社大) Doshisha University (略称： Doshisha Univ.) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2015-09-03 14:30:00 |
| 発表時間 | 30分 |
| 申込先研究会 | US |
| 資料番号 | US2015-49 |
| 巻番号（vol） | vol.115 |
| 号番号（no） | no.207 |
| ページ範囲 | pp.19-24 |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2015-08-27 (US) |
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