研究会情報 |
研究会 |
SDM |
開催期間 |
2015-10-29 - 2015-10-30 |
開催地(和) |
東北大学未来研 |
開催地(英) |
Niche, Tohoku Univ. |
テーマ(和) |
プロセス科学と新プロセス技術 |
テーマ(英) |
Process Science and New Process Technology |
講演論文情報の詳細 |
申込み研究会 |
SDM |
会議コード |
2015-10-SDM |
本文の言語 |
日本語 |
タイトル(和) |
イオン注入技術の現状と課題 |
サブタイトル(和) |
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タイトル(英) |
Current situation and challenging for ion implantation technology |
サブタイトル(英) |
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キーワード(1)(和/英) |
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キーワード(2)(和/英) |
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キーワード(3)(和/英) |
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キーワード(4)(和/英) |
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キーワード(5)(和/英) |
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キーワード(6)(和/英) |
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キーワード(7)(和/英) |
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キーワード(8)(和/英) |
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第1著者 氏名(和/英/ヨミ) |
中島 良樹 / Yoshiki Nakashima / ナカシマ ヨシキ |
第1著者 所属(和/英) |
日新イオン機器株式会社 (略称: 日新イオン機器)
Nissin Ion Equipment Co. LTD. (略称: NIC) |
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) |
濱本 成顕 / Nariaki Hamamoto / ハマモト ナリアキ |
第2著者 所属(和/英) |
日新イオン機器株式会社 (略称: 日新イオン機器)
Nissin Ion Equipment Co. LTD. (略称: NIC) |
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) |
酒井 滋樹 / Shigeki Sakai / サカイ シゲキ |
第3著者 所属(和/英) |
日新イオン機器株式会社 (略称: 日新イオン機器)
Nissin Ion Equipment Co. LTD. (略称: NIC) |
第4著者 氏名(和/英/ヨミ) |
おの田 博 / Hiroshi Onoda / オノダ ヒロシ |
第4著者 所属(和/英) |
日新イオン機器株式会社 (略称: 日新イオン機器)
Nissin Ion Equipment Co. LTD. (略称: NIC) |
第5著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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第5著者 所属(和/英) |
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第6著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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第6著者 所属(和/英) |
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第7著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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第8著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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第9著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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第10著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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第11著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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第12著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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第13著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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第14著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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第15著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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第16著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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第17著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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第18著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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第19著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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第20著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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講演者 |
第1著者 |
発表日時 |
2015-10-29 14:00:00 |
発表時間 |
50分 |
申込先研究会 |
SDM |
資料番号 |
SDM2015-71 |
巻番号(vol) |
vol.115 |
号番号(no) |
no.280 |
ページ範囲 |
pp.1-6 |
ページ数 |
6 |
発行日 |
2015-10-22 (SDM) |