講演抄録/キーワード |
講演名 |
2015-11-26 10:30
RF窒素プラズマを用いた表面窒化によるα-(AlGa)2O3上AlGaN形成に関する検討 ○荒木 努・武馬 輝・増田 直・名西やす之(立命館大)・織田真也・人羅俊実(FLOSFIA) ED2015-68 CPM2015-103 LQE2015-100 エレソ技報アーカイブへのリンク:ED2015-68 CPM2015-103 LQE2015-100 |
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文献情報 |
信学技報, vol. 115, no. 331, LQE2015-100, pp. 1-4, 2015年11月. |
資料番号 |
LQE2015-100 |
発行日 |
2015-11-19 (ED, CPM, LQE) |
ISSN |
Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 |
著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) |
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