| 講演抄録/キーワード |
| 講演名 |
2015-12-11 10:55
L10規則構造を持つFePt/FePd積層膜の形成 ○中村将大・落合亮真・野口陽平(中大)・大竹 充(工学院大/中大)・二本正昭(中大)・桐野文良(東京藝術大)・稲葉信幸(山形大) MR2015-32 |
| 抄録 |
(和) |
L10構造を持つエピタキシャルFePt, FePd単層膜,FePt/FePd二層膜および多層膜を超高真空RFマグネトロンスパッタリング法によりMgO(001)単結晶基板上に形成し,磁化容易軸であるc軸の膜面垂直方向への制御を試みた.単層膜において,MgO(001)基板上に形成したFePd膜は層厚が40 nm以下の場合,c軸が面直に向いたL10(001)単結晶膜であるのに対し,FePt膜では,層厚が2.5 nmより厚くなるとL10(001)結晶に加え,c軸が面内を向いたL10(100)結晶やL10(010)結晶が混在した.二層膜や多層膜において,総膜厚を10 nmとした場合,積層順に関わらず,一層あたりのFePt層厚が2.5 nm以下ではL10(001)結晶のみから構成される膜が形成されたのに対し,FePt層厚を厚くするとL10(100)結晶やL10(010)結晶が混在する傾向が見られた.また,総膜厚を40 nmとした場合,FePt層厚が2.5 nm以下であっても,L10(001)結晶に加えて,L10(100)結晶やL10(010)結晶が混在することが分かった. |
| (英) |
FePd, FePt single-layer, FePt/FePd bilayer, and multilayer films with L10 structure are prepared on MgO(001) single-crystal substrates and the variant structures are investigated. In single-layers, FePd films consist of one variant L10(001) with the c-axis perpendicular to the substrate surface when the thickness is lower than 40 nm, whereas FePt films include L10(100) and L10(010) variants in addition to L10(001) variant when the thickness is larger than 2.5 nm. In the cases of bilayer and multilayer structures, the films consist of only L10(001) variant when the FePt layer is thinner that 2.5 nm for a total film thickness of 10 nm. However, when the total film thickness is increased to 40 nm, other variants with the c-axes in plane, start to be included in the film structure. |
| キーワード |
(和) |
FePd / FePt / 薄膜 / L10規則構造 / 結晶配向 / エピタキシャル成長 / 単結晶基板 / |
| (英) |
FePd / FePt / thin film / L10 ordered structure / crystallographic orientation / epitaxial growth / single-crystal substrate / |
| 文献情報 |
信学技報, vol. 115, 2015年12月. |
| 資料番号 |
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| 発行日 |
2015-12-03 (MR) |
| ISSN |
Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 |
著作権に ついて |
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MR2015-32 |