講演抄録/キーワード |
講演名 |
2016-03-03 13:30
マスター電極を用いた静電塗布法によるマスクレスパターニング ○田中 光・山内 博・酒井正俊・岡田悠吾・飯塚正明・工藤一浩(千葉大) OME2015-86 エレソ技報アーカイブへのリンク: OME2015-86 |
抄録 |
(和) |
静電塗布法によるRoll to Rollプロセスの実現を目指して、パターン形成されたマスター電極を用いたフレキシブル基板へのマスクレスパターニングの基礎研究を行った。銀ナノ粒子インクを用いて、パターニング塗布実験および塗布膜の抵抗率評価を行った。また、従来型と異なる基板縦置き型静電塗布法を提案し、液滴に加わる静電力と重力により液滴のサイズを選別できる基礎実験結果を示した。 |
(英) |
Basic study of a mask-less patterning to a flexible substrate using a patterned master electrode was performed to realize the Roll to Roll process by electrostatic spray deposition. The mask-less patterning to a flexible substrate using silver nano-particle ink and resistivity evaluation were performed. Furthermore, we proposed a horizontal type electrostatic spray deposition different from the usual method and showed the basic results of the selectivity of the droplet size depending on the electrostatic and gravity forces of the droplet. |
キーワード |
(和) |
静電塗布法 / マスクレスパターニング / Roll to Rollプロセス / 縦置き型静電塗布法 / / / / |
(英) |
Electrostatic spray deposition / Mask-less patterning / Roll to Roll process / horizontal type electrostatic spray deposition / / / / |
文献情報 |
信学技報, vol. 115, no. 485, OME2015-86, pp. 1-4, 2016年3月. |
資料番号 |
OME2015-86 |
発行日 |
2016-02-25 (OME) |
ISSN |
Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 |
著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) |
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