講演抄録/キーワード |
講演名 |
2016-03-03 13:55
イオンアシスト蒸着重合による接着性アクリル高分子薄膜の作製 ○河村 拓・田中邦明・臼井博明(東京農工大) OME2015-87 エレソ技報アーカイブへのリンク: OME2015-87 |
抄録 |
(和) |
イオンアシスト蒸着重合により種々の基板上に4-hydroxybutyl acrylate glycidylether (4HBAGE)及び4-hydroxybutyl acrylate(4HBA)の薄膜を形成した.4HBAGE膜は側鎖末端に反応性官能基であるエポキシ基を持つため金属や他の反応性官能基と化学的に結合し接着性の向上が期待される.そこで基板上に作製した4HBAGE膜の表面に蒸着銅あるいはイオンアシスト蒸着により反応性官能基を持つガラス基板を接着させその付着強度を測定した.フィルム/金属,フィルム/ガラス,ガラス同士において界面の接着性が改善された.この界面接着層はナノスケールの厚みであるため電子デバイスの小型化・高密度化への応用が期待される. |
(英) |
Thin films of 4-hydroxybutyl acrylate glycidylether (4HBAGE) and 4-hydroxybutyl acrylate (4HBA) were obtained on glass and polyimide (PI) substrates by an ion-assisted vapor deposition method. It was observed that the irradiation by Ar ions during vapor deposition not only induces vinyl polymerization of 4HBAGE and 4HBA monomers, but also improves mechanical stability and surface flatness. The 4HBAGE layer was effective in improving adhesion strength between the substrates and vapor-deposited films of Cu. Moreover, adhesion was observed between surfaces deposited with 4HBAGE/4HBAGE or 4HBAGE/4HBA, suggesting that these layers can function as nano-adhesive layers. |
キーワード |
(和) |
イオンアシスト蒸着 / 蒸着重合 / 付着強度 / ナノ接着 / 界面制御 / / / |
(英) |
Ion-assisted deposition / deposition-polymerization / adhesion strength / nano-adhesion / interface control / / / |
文献情報 |
信学技報, vol. 115, no. 485, OME2015-87, pp. 5-9, 2016年3月. |
資料番号 |
OME2015-87 |
発行日 |
2016-02-25 (OME) |
ISSN |
Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 |
著作権に ついて |
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