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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2016-06-17 14:40 量子構造混晶化を用いたVCSELのキャリア及び光閉じ込めに関する研究 ○齋藤 季・森脇翔平・宮本智之（東工大）  OPE2016-15 LQE2016-25 |
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| 抄録 | （和） | VCSELは二次元アレー・低消費電力・優れた生産性といった特徴を有し，広く実用されている．今後，VCSELは光無線給電といった新規光システムへの応用が期待されており，VCSELの更なる高性能化が求められている．本研究ではVCSELの高効率化を目標に，量子構造混晶化（QWI）を用いたVCSELのキャリアおよび光閉じ込め手法の検討を行った．プロトン注入による欠陥導入と熱処理を組合せたQWI手法の実験的検討を行い，QWIによるバンドギャップエネルギー変化および結晶性の回復を評価した．また実際にキャリア閉じ込めを活性層に適用し，VCSELの製作とその動作を確認した．さらに，QWIによる屈折率変化を理論解析し，1%程度と比較的大きな屈折率変化が得られる可能性を示し，VCSELの新たな光閉じ込め手法としての応用性を指摘した． |
| （英） | Vertical cavity surface emitting laser (VCSEL) is advantageous such as 2D array, low power consumption, high productivity, and has been put into practical use. It is considered that VCSEL will be used as a light source of next era photonic systems such as optical wireless power transmission. For use in these applications, high performance VCSEL is required. In this study, we investigated carrier and light confinement technologies of VCSELs using the quantum well intermixing (QWI). The QWI based on introduction of defects by proton implantation and rapid thermal annealing was characterized, and bandgap energy shift and crystalline characteristics were clarified. We fabricated a QWI-VCSEL whose active layer was intermixed for carrier confinement. In addition, refractive index change using the QWI was analyzed numerically. Relatively large refractive index change of -0.03 (~1%) was expected. The result will be applicable as a new technique of light confinement for VCSEL. | |
| キーワード | （和） | VCSEL / 量子構造混晶化 / キャリア閉じ込め / 光閉じ込め / / / / |
| （英） | VCSEL / quantum well intermixing / carrier confinement / light confinement / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 116, no. 103, LQE2016-25, pp. 31-34, 2016年6月. | |
| 資料番号 | LQE2016-25 | |
| 発行日 | 2016-06-10 (OPE, LQE) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | OPE2016-15 LQE2016-25 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | OPE LQE |
| 開催期間 | 2016-06-17 - 2016-06-17 |
| 開催地（和） | 機械振興会館 |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | 「材料デバイスサマーミーティング」アクティブデバイスと集積化技術、一般 |
| テーマ（英） | |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | LQE |
| 会議コード | 2016-06-OPE-LQE |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | 量子構造混晶化を用いたVCSELのキャリア及び光閉じ込めに関する研究 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Lateral Carrier and Light Confinement for VCSEL Using Quantum Well Intermixing |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | VCSEL / VCSEL |
| キーワード(2)（和/英） | 量子構造混晶化 / quantum well intermixing |
| キーワード(3)（和/英） | キャリア閉じ込め / carrier confinement |
| キーワード(4)（和/英） | 光閉じ込め / light confinement |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 齋藤 季 / Minoru Saito / サイトウ ミノル |
| 第1著者 所属（和/英） | 東京工業大学 (略称： 東工大) Tokyo Institute of technology (略称： Tokyo Inst. of Tech.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 森脇 翔平 / Shohei Moriwaki / モリワキ ショウヘイ |
| 第2著者 所属（和/英） | 東京工業大学 (略称： 東工大) Tokyo Institute of technology (略称： Tokyo Inst. of Tech.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 宮本 智之 / Tomoyuki Miyamoto / ミヤモト トモユキ |
| 第3著者 所属（和/英） | 東京工業大学 (略称： 東工大) Tokyo Institute of technology (略称： Tokyo Inst. of Tech.) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2016-06-17 14:40:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | LQE |
| 資料番号 | OPE2016-15, LQE2016-25 |
| 巻番号（vol） | vol.116 |
| 号番号（no） | no.102(OPE), no.103(LQE) |
| ページ範囲 | pp.31-34 |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | 2016-06-10 (OPE, LQE) |
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