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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2016-07-08 13:00 電解析出法による多層構造を有したFePtナノドットアレイの低温L10規則化の検討 ○齋藤 学・ヴォダルツ ジギー・橋本尚吾（早大）・Giovanni Zangari（バージニア大）・本間敬之（早大）  MR2016-13 |
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| 抄録 | （和） | 我々は電解析出法とリソグラフィを組み合わせたビットパターン媒体（BPM）形成手法を検討してきた．本研究では，パルス電析法によるFePt合金を用いたBPM形成プロセスの提案を目的とし，FePt多層膜及び多層構造を有したナノドットアレイの形成を行った．ここで，高温アニール処理ではナノドットの形状保持が問題となったことから，パルス電析法による多層構造を有したFePtナノドットアレイを形成し，低温アニール処理でのL10規則化を試みた．その結果，FePt多層膜において低温アニール処理時の高保磁力化が確認された．またFePtナノドットアレイでは，多層構造の形成時に水素発生によるドットの不均一化が問題であったが，電析条件を最適化することで均一なドットの形成が確認された． |
| （英） | We have been developing the fabrication process of ferromagnetic nanodot arrays for bit patterned media (BPM) by using electrodeposition and lithography techniques. In this work, we attempted to fabricate FePt multilayer and FePt nanodot arrays (diameter; 15 nm, pitch; 35 nm) with multilayer structure by pulse electrodeposition. In terms of disappearances of FePt nanodots at high ordering temperature, it is necessary to fabricate FePt nanodot arrays at lower L10-ordering temperature. As a result, FePt multilayer exhibited higher coercivity at lower L10-ordering temperature. Moreover, FePt nanodot with multilayer structure by pulse electrodeposition could be formed uniformly, by optimizing the deposition parameters. | |
| キーワード | （和） | ビットパターン媒体 / 電解析出法 / FePtナノドットアレイ / 多層構造 / 低温L10規則化 / / / |
| （英） | Bit Patterned Media / Electrodeposition / FePt nanodot array / Multilayer structure / Low L10-ordering temperature / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 116, 2016年7月. | |
| 資料番号 | ||
| 発行日 | 2016-07-01 (MR) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | MR2016-13 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | MRIS ITE-MMS |
| 開催期間 | 2016-07-08 - 2016-07-08 |
| 開催地（和） | 中央大学 |
| 開催地（英） | Chuo Univ. |
| テーマ（和） | 固体メモリ・媒体，一般 |
| テーマ（英） | Solid State Memory, Media, etc. |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | MRIS |
| 会議コード | 2016-07-MR-MMS |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | 電解析出法による多層構造を有したFePtナノドットアレイの低温L10規則化の検討 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | The Study on Electrodeposited FePt Nanodot Array with Multilayer Structure for Low L10-ordering Temperature |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | ビットパターン媒体 / Bit Patterned Media |
| キーワード(2)（和/英） | 電解析出法 / Electrodeposition |
| キーワード(3)（和/英） | FePtナノドットアレイ / FePt nanodot array |
| キーワード(4)（和/英） | 多層構造 / Multilayer structure |
| キーワード(5)（和/英） | 低温L10規則化 / Low L10-ordering temperature |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 齋藤 学 / Manabu Saito / サイトウ マナブ |
| 第1著者 所属（和/英） | 早稲田大学 (略称： 早大) Waseda University (略称： Waseda Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | ヴォダルツ ジギー / Siggi Wodarz / ヴォダルツ ジギー |
| 第2著者 所属（和/英） | 早稲田大学 (略称： 早大) Waseda University (略称： Waseda Univ.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 橋本 尚吾 / Shogo Hashimoto / ハシモト ショウゴ |
| 第3著者 所属（和/英） | 早稲田大学 (略称： 早大) Waseda University (略称： Waseda Univ.) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | Giovanni Zangari / Giovanni Zangari / ジョバンニ ザンガリ |
| 第4著者 所属（和/英） | バージニア大学 (略称： バージニア大) University of Virginia (略称： Univ. of Virginia) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | 本間 敬之 / Takayuki Homma / ホンマ タカユキ |
| 第5著者 所属（和/英） | 早稲田大学 (略称： 早大) Waseda University (略称： Waseda Univ.) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2016-07-08 13:00:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | MRIS |
| 資料番号 | MR2016-13 |
| 巻番号（vol） | vol.116 |
| 号番号（no） | no.125 |
| ページ範囲 | pp.1-5 |
| ページ数 | 5 |
| 発行日 | 2016-07-01 (MR) |
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