講演抄録/キーワード |
講演名 |
2016-08-01 14:30
[招待講演]高NIR感度と高MTFを実現する新規積層フォトダイオード構造の開発 ○高橋広樹・田中浩司・小田真弘・安藤三善・新添真人(パナソニック・タワージャズセミコンダクター)・河合真一・浅野拓也・吉田 貢・山田 徹(PSCS) SDM2016-51 ICD2016-19 エレソ技報アーカイブへのリンク:SDM2016-51 ICD2016-19 |
抄録 |
(和) |
高い近赤外(NIR)感度と高い変調伝達関数(MTF)を同時に実現する為、2つのフォトダイオードを積層した新たな画素構造(Stacked Deep Photodiode : SDP)を開発した。 SDP構造の5.4μm 画素は、隣接する画素と完全に分離された10µm の深さを有するフォトダイオードにより、850nmの波長において、量子効率 (QE) 30% 、ナイキスト周波数においてMTF 40% を達成した。さらに、斜め入射光に対して最適化する事が可能なShifted-SDPは、入射角25 ºで850nmの波長においてクロストークを1.5%に抑制する事ができた。 |
(英) |
Novel pixel structure with Stacked Deep Photodiode (SDP) has been newly developed for both high Near Infra-Red (NIR) sensitivity and high Modulation Transfer Function (MTF). SDP with 5.4µm pixel pitch has achieved Quantum Efficiency (QE) of 30% and MTF of 40% at Nyquist frequency at 850nm wavelength by stacking photodiode completely separated from neighboring pixels. Furthermore, Shifted SDP which can be optimized for oblique incident light has suppressed crosstalk as low as 1.5% at 25 º at 850 nm wavelength. |
キーワード |
(和) |
NIR / MTF / 積層 / イメージセンサー / クロストーク / / / |
(英) |
NIR / MTF / Stack / Image sensor / Crosstalk / / / |
文献情報 |
信学技報, vol. 116, no. 172, SDM2016-51, pp. 41-44, 2016年8月. |
資料番号 |
SDM2016-51 |
発行日 |
2016-07-25 (SDM, ICD) |
ISSN |
Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 |
著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) |
PDFダウンロード |
SDM2016-51 ICD2016-19 エレソ技報アーカイブへのリンク:SDM2016-51 ICD2016-19 |
研究会情報 |
研究会 |
ICD SDM ITE-IST |
開催期間 |
2016-08-01 - 2016-08-03 |
開催地(和) |
中央電気倶楽部 |
開催地(英) |
Central Electric Club |
テーマ(和) |
アナログ、アナデジ混載、RF及びセンサインタフェース回路、低電圧/低消費電力技術、新デバイス・回路とその応用 |
テーマ(英) |
Analog, Mixed Analog and Digital, RF, and Sensor Interface, Low voltage/low power techniques, novel devices, circuits, and applications |
講演論文情報の詳細 |
申込み研究会 |
SDM |
会議コード |
2016-08-ICD-SDM-IST |
本文の言語 |
英語(日本語タイトルあり) |
タイトル(和) |
高NIR感度と高MTFを実現する新規積層フォトダイオード構造の開発 |
サブタイトル(和) |
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タイトル(英) |
Novel Pixel Structure with Stacked Deep Photodiode to Achieve High NIR Sensitivity and High MTF |
サブタイトル(英) |
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キーワード(1)(和/英) |
NIR / NIR |
キーワード(2)(和/英) |
MTF / MTF |
キーワード(3)(和/英) |
積層 / Stack |
キーワード(4)(和/英) |
イメージセンサー / Image sensor |
キーワード(5)(和/英) |
クロストーク / Crosstalk |
キーワード(6)(和/英) |
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キーワード(7)(和/英) |
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キーワード(8)(和/英) |
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第1著者 氏名(和/英/ヨミ) |
高橋 広樹 / Hiroki Takahashi / タカハシ ヒロキ |
第1著者 所属(和/英) |
パナソニック・タワージャズセミコンダクター株式会社 (略称: パナソニック・タワージャズセミコンダクター)
TowerJazz Panasonic Semiconductor Co., Ltd. (略称: TPSCo) |
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) |
田中 浩司 / Hiroshi Tanaka / タナカ ヒロシ |
第2著者 所属(和/英) |
パナソニック・タワージャズセミコンダクター株式会社 (略称: パナソニック・タワージャズセミコンダクター)
TowerJazz Panasonic Semiconductor Co., Ltd. (略称: TPSCo) |
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) |
小田 真弘 / Masahiro Oda / オダ マサヒロ |
第3著者 所属(和/英) |
パナソニック・タワージャズセミコンダクター株式会社 (略称: パナソニック・タワージャズセミコンダクター)
TowerJazz Panasonic Semiconductor Co., Ltd. (略称: TPSCo) |
第4著者 氏名(和/英/ヨミ) |
安藤 三善 / Mitsuyoshi Ando / アンドウ ミツヨシ |
第4著者 所属(和/英) |
パナソニック・タワージャズセミコンダクター株式会社 (略称: パナソニック・タワージャズセミコンダクター)
TowerJazz Panasonic Semiconductor Co., Ltd. (略称: TPSCo) |
第5著者 氏名(和/英/ヨミ) |
新添 真人 / Naoto Niisoe / ニイソエ ナオト |
第5著者 所属(和/英) |
パナソニック・タワージャズセミコンダクター株式会社 (略称: パナソニック・タワージャズセミコンダクター)
TowerJazz Panasonic Semiconductor Co., Ltd. (略称: TPSCo) |
第6著者 氏名(和/英/ヨミ) |
河合 真一 / Shinichi Kawai / カワイ シンイチ |
第6著者 所属(和/英) |
パナソニック セミコンダクターソリューションズ株式会社 (略称: PSCS)
Panasonic Semiconductor Solutions Co., Ltd. (略称: PSCS) |
第7著者 氏名(和/英/ヨミ) |
浅野 拓也 / Takuya Asano / アサノ タクヤ |
第7著者 所属(和/英) |
パナソニック セミコンダクターソリューションズ株式会社 (略称: PSCS)
Panasonic Semiconductor Solutions Co., Ltd. (略称: PSCS) |
第8著者 氏名(和/英/ヨミ) |
吉田 貢 / Mitsugu Yoshita / ヨシタ ミツグ |
第8著者 所属(和/英) |
パナソニック セミコンダクターソリューションズ株式会社 (略称: PSCS)
Panasonic Semiconductor Solutions Co., Ltd. (略称: PSCS) |
第9著者 氏名(和/英/ヨミ) |
山田 徹 / Tohru Yamada / ヤマダ トオル |
第9著者 所属(和/英) |
パナソニック セミコンダクターソリューションズ株式会社 (略称: PSCS)
Panasonic Semiconductor Solutions Co., Ltd. (略称: PSCS) |
第10著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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第10著者 所属(和/英) |
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第11著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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第12著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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第13著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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第13著者 所属(和/英) |
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第14著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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第15著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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第16著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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第17著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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第18著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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第19著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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第19著者 所属(和/英) |
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第20著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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第20著者 所属(和/英) |
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講演者 |
第1著者 |
発表日時 |
2016-08-01 14:30:00 |
発表時間 |
45分 |
申込先研究会 |
SDM |
資料番号 |
SDM2016-51, ICD2016-19 |
巻番号(vol) |
vol.116 |
号番号(no) |
no.172(SDM), no.173(ICD) |
ページ範囲 |
pp.41-44 |
ページ数 |
4 |
発行日 |
2016-07-25 (SDM, ICD) |